융합 실리카 웨이퍼 보트

Semicorex 용융 실리카 웨이퍼 보트는 이상적인 석영 솔루션이며 핵심 기능은 고온 및 화학적 부식과 관련된 특수 공정 환경에서 반도체 웨이퍼 및 광전지 실리콘 웨이퍼와 같은 깨지기 쉬운 재료를 안정적으로 지지, 배치 및 운반하는 것입니다. 엄격한 재료 순도 제어, 정교한 구조 설계 및 고정밀 가공이 결합된 당사의 용융 실리카 웨이퍼 보트는 청결성, 내구성 및 작동 안정성에 대한 고급 공정의 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다.

Semicorex 용융 실리카 웨이퍼 보트의 장점

1. 프리미엄 소재 선택

Semicorex 용융 실리카 웨이퍼 보트의 탁월한 성능은 높은 표준의 원자재 선택에 기인합니다. 반도체 등급 또는 광전지 등급으로 제작(고객의 용도에 따라 선택)석영 재료, 용융 실리카 웨이퍼 보트는 다음과 같은 우수한 특성을 나타냅니다.

A. 뛰어난 고온 저항-- 1200℃ 이하의 고온 환경에서도 안정적으로 작동합니다.

B. 낮은 열팽창계수-- 극적인 온도 순환 중에 탁월한 열충격 저항성을 제공합니다.

C. 견고한 화학적 안정성-- 화학 시약으로 인한 가혹한 부식에 대한 저항력.

D. 초고순도-- 열처리 중 금속 원소 방출이 극히 낮습니다.

2. 최적화된 설계와 정밀가공

배치 웨이퍼 처리용으로 설계된 Semicorex용융 실리카 웨이퍼 보트배치 웨이퍼를 안정적으로 지지하는 동시에 각 웨이퍼에 대해 일관된 공정 효과를 얻을 수 있는 안정적인 프레임과 최적화된 구조 설계가 특징입니다.

가. 수직기둥 구조

Semicorex 용융 실리카 웨이퍼 보트는 수직 포스트 구조를 갖추고 있어 수직 용광로 응용 분야에 완벽하게 일치합니다. 개방형 구조 설계는 웨이퍼 간 공정 가스의 흐름과 순환을 촉진하여 웨이퍼 배치에 일관된 열처리 효과를 제공합니다.

B. 정확한 슬롯 구성

정밀 가공을 통해 Semicorex는 용융 실리카 웨이퍼 보트의 지지대에 있는 슬롯 간격, 슬롯 깊이 및 모양 매개변수가 웨이퍼 사양과 완벽하게 일치하도록 보장합니다. 이 슬롯 구성은 웨이퍼가 합리적인 간격과 정확한 위치 지정으로 웨이퍼 보트에 배치되도록 보장하여 운송 및 처리 중 변위 및 충돌과 같은 문제를 효과적으로 방지합니다.