고순도 석영으로 제조된 Semicorex 실리콘 풀링 석영 도가니는 고급 반도체 및 PV 웨이퍼 생산에 광범위하게 사용되는 고성능 용기입니다. Semicorex 실리콘 풀링 석영 도가니는 고온 작동 조건에서 연속 단결정 실리콘 풀링을 지원하여 실리콘 웨이퍼 생산을 강화할 수 있습니다.
실리콘 풀링 석영 도가니는 일반적으로 단결정 용해로의 중앙 구역에 위치하며 다음과 같이 고정됩니다.흑연 도가니절연 배럴, 가이드 실린더, 실리콘 잉곳 풀링용 히터를 포함한 기타 열장 구성 요소와 함께 사용됩니다. 반도체 및 PV 산업에서는 순도, 결함 밀도, 전위 및 불순물 수준(예: 산소, 탄소 및 금속 이온 함량)에 대한 엄격한 제어가 필요한 실리콘 웨이퍼 품질에 대한 엄격한 요구 사항을 설정합니다. 용융된 폴리실리콘을 담는 필수 용기인 실리콘 풀링 석영 도가니는 실리콘 공급원료와 직접 접촉하여 웨이퍼 품질, 생산 수율 및 배치 전체의 안정적인 일관성에 상당한 영향을 미칩니다.
Semicorex는 PV 및 반도체 등급 원자재를 사용하여 석영 도가니를 생산하고 각 생산 단계를 엄격하게 제어하여 금속 오염을 방지합니다. 당사의 실리콘 풀링 석영 도가니는 엄격한 업계 청결 요구 사항을 완벽하게 충족하고 실리콘 잉곳의 결정 품질에 영향을 미치는 원치 않는 불순물 오염을 크게 최소화할 수 있습니다.
세미코렉스 실리콘 풀링석영 도가니1100°C에서 장기간 안정적인 서비스를 제공하고 1450°C에서 단기 운영이 가능합니다. 당사의 실리콘 풀링 석영 도가니는 연속 단결정 풀링 중에 변형이나 붕괴 없이 극한의 고온 작업 조건에서 안정적인 강도를 유지할 수 있습니다.
Semicorex는 도가니 치수, 내부 코팅, 기포 수준 및 재료 순도 측면에서 실리콘 풀링 석영 도가니의 맞춤형 생산을 제공합니다. 직경 범위는 14~36인치이므로 당사의 실리콘 풀링 석영 도가니는 소규모 실험실 연구와 대규모 산업 생산 모두에 적합합니다.
1. PV 산업에서 태양전지 생산용 실리콘 웨이퍼를 생산하는 데 사용됩니다.
2. 반도체 제조에서 집적 회로, 마이크로 전자 장치, 개별 반도체 장치 및 반도체 실리콘 부품 제조용 실리콘 웨이퍼 생산에 적용됩니다.
3. 실험실 응용 분야의 고온 점화 및 용융 실험에 사용됩니다.