3피스 흑연 도가니

흑연 도가니는 일반적으로 단결정로의 중앙 지지 플랫폼에 배치되며 단결정의 흑연 히터와 석영 도가니 사이에 위치합니다.규소성장 과정. 석영 도가니와 용융된 실리콘 재료를 안정적으로 지지할 수 있으며 이 과정에서 폴리실리콘을 가열하고 녹이기 위해 석영 도가니에 열을 일관되게 전도할 수 있습니다.

Semicorex 3피스 흑연 도가니의 장점

1. 프리미엄 소재 선택 및 소재 특성

Semicorex는 고순도 흑연 재료를 사용하여 3피스 흑연 도가니를 제조합니다. 이 높은 표준 원료 선택은 다음과 같이 도가니에 우수한 전체 성능을 부여합니다.

에이. 초고청정도

불순물 오염은 제조 과정에서 실리콘 결정의 격자 구조를 손상시키는 중요한 위험입니다. 반도체급 고순도 흑연 소재를 사용하면 단결정 실리콘 성장 시 3피스 흑연 도가니에서 불순물 침전으로 인한 오염 위험을 최소화할 수 있습니다.

비.뛰어난 열 관리 기능

Semicorex 3피스 흑연 도가니의 내열성은 고온에서 안정적인 성능을 제공하여 단결정 실리콘 성장을 위한 견고한 지원을 제공합니다. 뛰어난 열 전도성을 갖춘 Semicorex 3피스 흑연 도가니는 효율적이고 일관된 폴리실리콘 용융을 달성할 수 있습니다.

기음. 신뢰할 수 있는 화학적 안정성

안정적인 화학적 특성을 갖춘 Semicorex 3피스 흑연 도가니는 단결정 성장 중 부식에 효과적으로 저항하고 반응 부산물로 인한 원치 않는 오염을 방지할 수 있습니다. Semicorex는 또한 고객에게 TaC 및 SiC 코팅 옵션을 제공하여 부식성이 높은 작동 조건에 적합한 도가니를 만듭니다.

2. 독창적인 구조설계와 정밀가공

세미코렉스 쓰리피스흑연 도가니3개의 세그먼트로 구성되며 전용 부품과 연결됩니다. 이 디자인은 기존의 일체형 흑연 도가니에 비해 탁월한 장점을 제공합니다.

에이.도가니의 3개 꽃잎 분할 구조는 기존 일체형 흑연 도가니의 재료 취급 불편함을 해결하여 작업 시간을 크게 절약합니다.

비.3피스 흑연 도가니는 단일 부품 교체를 지원하므로 사용자의 유지 관리 및 교체 비용을 효과적으로 낮춥니다.

기음.도가니의 세 꽃잎 분할 구조는 온도 변동으로 인한 열 응력을 방출하여 구조적 손상을 방지하여 균열 위험을 크게 줄일 수 있습니다.