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회사 소개

Semicorex Advanced Material Technology Co., Ltd는 중국 최고의 화학 기상 증착(CVD) SiC 코팅 제품을 공급하는 선도적인 고품질 공급업체입니다. 우리는 혁신적인 반도체 재료, 특히 SiC 코팅 기술과 반도체 산업에서의 적용에 대한 연구 및 개발에 전념하고 있습니다. 우리는 다음과 같은 다양한 고품질 제품을 제공합니다.SiC 코팅 흑연 서셉터, 실리콘 카바이드 코팅, 깊은 UV 에피택시 서셉터, CVD 기판 히터, CVD SiC 웨이퍼 캐리어, 웨이퍼 보트, 게다가반도체 부품그리고실리콘 카바이드 세라믹 제품.

LED 칩 에피택시 및 실리콘 단결정 기판에 사용되는 SiC 박막은 다이아몬드와 동일한 결정 격자 구조를 갖는 입방정상(cubic phase)을 가지며 경도는 다이아몬드에 이어 두 번째이다. SiC는 반도체 전자 산업에 응용할 수 있는 엄청난 잠재력을 가진 널리 알려진 와이드 밴드갭 반도체 재료이며 높은 열전도율, 낮은 열팽창 계수, 고온 저항 및 내부식성과 같은 우수한 물리적 및 화학적 특성을 가지고 있습니다.

전자 장치 생산에서 웨이퍼는 웨이퍼가 흑연 서셉터에 운반되는 실리콘 에피택시를 포함한 여러 단계를 거쳐야 합니다. 서셉터의 품질과 특성은 웨이퍼의 에피택셜 레이어의 품질에 중요한 역할을 합니다. Graphite base는 MOCVD 장비의 핵심 부품 중 하나로 기판의 Carrier와 Heater 역할을 합니다. 열 균일성과 같은 열적으로 안정적인 성능 매개변수는 에피택셜 재료 성장의 품질에 결정적인 역할을 하며 평균 균일성과 순도를 직접 결정합니다.

Semicorex에서는 CVD를 활용하여 소결된 SiC 재료에 비해 순도가 더 높은 고강도 등압 흑연에 조밀한 β-SiC 필름을 제조합니다. SiC 코팅 흑연 서셉터와 같은 당사의 제품은 흑연 베이스에 특수한 특성을 부여하여 흑연 베이스의 표면을 콤팩트하고 매끄러우며 비다공성, 우수한 내열성, 열 균일성, 내부식성 및 내산화성으로 만듭니다.

SiC 코팅 기술은 특히 LED 에피택셜 캐리어의 성장 및 Si 단결정 에피택시에서 널리 사용되었습니다. 반도체 산업의 급속한 성장과 함께 SiC 코팅 기술 및 제품에 대한 수요가 크게 증가했습니다. 당사의 SiC 코팅 제품은 항공우주, 태양광 산업, 원자력 에너지, 고속철도, 자동차 및 기타 산업 분야에서 광범위한 응용 분야를 보유하고 있습니다.

제품 적용

LED IC 에피택시

단결정 실리콘 에피택시

RTP/TRA 웨이퍼 캐리어

ICP/PSS 에칭

플라즈마 에칭

SiC 에피택시

단결정 실리콘 에피택시

실리콘 기반 GaN 에피택시

딥 UV 에피택시

반도체 식각

광전지 산업

SiC 에피텍셜 CVD 시스템

SiC 에피택시막 성장 장비

MOCVD 반응기

MOCVD 시스템

CVD 장비

PECVD 시스템

LPE 시스템

Aixtron 시스템

누플레어 시스템

TEL CVD 시스템

베코 시스템

TSI 시스템