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중국 포커스 링 제조업체, 공급업체, 공장

초점 링 또는 에지 링은 웨이퍼 에지 또는 주변 주변의 에칭 균일성을 개선하도록 설계되었습니다.

Semicorex focus ring은 CVD(Chemical Vapor Deposition)를 사용하여 실리콘 카바이드 코팅을 하여 우수한 내열성을 제공하며, 균일한 Epi layer 두께와 저항을 위한 열 균일성, 내구성 있는 내화학성을 제공하여 Plasma Etching 또는 Dry Etching 공정의 극한 환경을 견딜 수 있도록 제작되었습니다. .





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반도체 공정을 위한 내구성 있는 초점 링

반도체 공정을 위한 내구성 있는 초점 링

반도체 공정용 Semicorex 내구성 있는 초점 링은 반도체 공정에 사용되는 플라즈마 에칭 챔버의 극한 환경을 견디도록 설계되었습니다. 당사의 초점 링은 고밀도의 내마모성 실리콘 카바이드(SiC) 코팅으로 코팅된 고순도 흑연으로 만들어집니다. SiC 코팅은 내식성 및 내열성이 우수하고 열전도율이 우수합니다. 초점 링의 수명을 개선하기 위해 화학 기상 증착(CVD) 공정을 사용하여 흑연에 얇은 층으로 SiC를 적용합니다.

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플라즈마 처리 초점 링

플라즈마 처리 초점 링

Semicorex 플라즈마 처리 초점 링은 반도체 산업에서 플라즈마 식각 처리의 높은 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 당사의 고급 고순도 실리콘 카바이드 코팅 부품은 극한 환경을 견딜 수 있도록 제작되었으며 실리콘 카바이드 레이어 및 에피택시 반도체를 비롯한 다양한 응용 분야에 사용하기에 적합합니다.

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SiC 포커스 링

SiC 포커스 링

Semicorex 고급 고순도 SiC 초점 링은 플라즈마 에칭(또는 건식 에칭) 챔버의 극한 환경을 견디도록 제작되었습니다. 우리는 실리콘 카바이드 레이어 및 에피택시 반도체와 같은 반도체 산업에 중점을 둡니다. 우리의 제품은 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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Semicorex는 수년 동안 포커스 링을(를) 생산해 왔으며 중국의 전문 포커스 링 제조업체 및 공급업체 중 하나입니다. 대량 포장을 제공하는 당사의 고급 내구성 제품을 구매하면 대량의 빠른 배송을 보장합니다. 수년에 걸쳐 우리는 고객에게 맞춤형 서비스를 제공했습니다. 고객은 우리 제품과 우수한 서비스에 만족합니다. 우리는 진심으로 귀하의 신뢰할 수 있는 장기 비즈니스 파트너가 되기를 기대합니다! 우리 공장에서 제품을 구입하는 것을 환영합니다.