중국 반도체 부품 제조업체, 공급업체, 공장

전문 제조 업체로서 우리는 귀하에게 반도체 부품을 제공하고 싶습니다. Semicorex는 반도체 공정 개선을 위한 파트너입니다. 당사의 탄화규소 코팅은 조밀하고 고온이며 내화학성이 있어 반도체 웨이퍼 및 웨이퍼 가공, 반도체 제조를 포함한 반도체 제조의 전체 주기에 자주 사용됩니다.

고순도 SiC 코팅 부품은 반도체 공정에 매우 중요합니다. 당사의 제품 범위는 결정 성장 핫존(히터, 도가니 서셉터, 절연체)용 흑연 소모품부터 에피택시 또는 MOCVD용 탄화규소 코팅 흑연 서셉터와 같은 웨이퍼 처리 장비용 고정밀 흑연 부품까지 다양합니다.

반도체 공정의 장점

에피택시나 MOCVD와 같은 박막 증착 단계나 에칭이나 이온 주입과 같은 웨이퍼 처리 공정에서는 고온과 혹독한 화학적 세척을 견뎌야 합니다. Semicorex는 고순도 실리콘 카바이드(SiC) 코팅 흑연 구조를 공급하여 우수한 내열성과 내구성 있는 내화학성을 제공하며 균일한 열 균일성을 제공하여 일관된 에피층 두께와 저항성을 제공합니다.

챔버 뚜껑 →
결정 성장 및 웨이퍼 처리 공정에 사용되는 챔버 뚜껑은 고온과 혹독한 화학적 세척을 견뎌야 합니다.

엔드 이펙터 →
엔드 이펙터는 웨이퍼 처리 장비와 캐리어의 위치 사이에서 반도체 웨이퍼를 이동시키는 로봇의 손입니다.

입구 링 →
MOCVD 장비에 의한 SiC 코팅 가스 유입 링 복합 성장은 내열성 및 내식성이 뛰어나 극한 환경에서도 안정성이 뛰어납니다.

초점 링 →
Semicorex는 탄화 규소 코팅 초점 링을 공급하여 RTA, RTP 또는 혹독한 화학 세척에 매우 안정적입니다.

웨이퍼 척 →
Semicorex 울트라 플랫 세라믹 진공 웨이퍼 척은 웨이퍼 핸들링 공정에 사용되는 고순도 SiC 코팅입니다.