중국 반도체 부품 제조업체, 공급업체, 공장

전문 제조 업체로서 반도체 부품을 제공하고자 합니다. Semicorex는 반도체 공정 개선을 위한 파트너입니다. 당사의 탄화규소 코팅은 고밀도, 고온 및 내화학성을 지니고 있어 반도체 웨이퍼 및 웨이퍼 가공, 반도체 제조를 포함한 반도체 제조의 전체 주기에 자주 사용됩니다.

고순도 SiC 코팅 부품은 반도체 공정에 매우 중요합니다. 당사의 제품 범위는 결정 성장 핫존용 흑연 소모품(히터, 도가니 서셉터, 절연체)부터 에피택시 또는 MOCVD용 실리콘 카바이드 코팅 흑연 서셉터와 같은 웨이퍼 처리 장비용 고정밀 흑연 부품에 이르기까지 다양합니다.

반도체 공정의 장점

에피택시 또는 MOCVD와 같은 박막 증착 단계 또는 에칭 또는 이온 주입과 같은 웨이퍼 핸들링 공정은 고온 및 가혹한 화학적 세정을 견뎌야 합니다. Semicorex는 고순도 실리콘 카바이드(SiC) 코팅 흑연 구조를 공급하여 우수한 내열성과 내구성 내화학성을 제공하며 균일한 열 균일성을 제공하여 에피층 두께와 저항을 일관되게 유지합니다.

챔버 뚜껑
결정 성장 및 웨이퍼 취급 공정에 사용되는 챔버 뚜껑은 고온 및 가혹한 화학 세척을 견뎌야 합니다.

엔드 이펙터
엔드 이펙터는 웨이퍼 처리 장비와 캐리어 사이에서 반도체 웨이퍼를 이동시키는 로봇의 손입니다.

인렛 링
MOCVD 장비에 의한 SiC 코팅된 가스 유입 링 화합물 성장은 높은 내열성 및 내식성을 가지며 극한 환경에서 뛰어난 안정성을 가집니다.

초점 링
Semicorex는 실리콘 카바이드 코팅된 초점 링을 공급하여 RTA, RTP 또는 가혹한 화학 세척에 매우 안정적입니다.

웨이퍼 척
Semicorex 울트라 플랫 세라믹 진공 웨이퍼 척은 웨이퍼 핸들링 공정에서 사용하는 고순도 SiC 코팅입니다.