TaC 코팅 흑연은 독점적인 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 고순도 흑연 기판의 표면을 탄탈륨 카바이드의 미세한 층으로 코팅하여 생성됩니다.
탄화탄탈륨(TaC)은 탄탈륨과 탄소로 구성된 화합물입니다. 금속 전기 전도성과 매우 높은 융점을 가지고 있어 강도, 경도, 내열성 및 내마모성으로 잘 알려진 내화성 세라믹 소재입니다. Tantalum Carbides의 녹는점은 순도에 따라 약 3880°C에서 최고조에 달하며 이원 화합물 중에서 가장 높은 녹는점 중 하나입니다. 따라서 MOCVD 및 LPE와 같은 화합물 반도체 에피택셜 공정에 사용되는 성능을 초과하는 고온 요구 사항이 있을 때 매력적인 대안이 됩니다.
Semicorex TaC 코팅의 재료 데이터
프로젝트 |
매개변수 |
밀도 |
14.3(gm/cm³) |
방사율 |
0.3 |
CTE(×10-6/케이) |
6.3 |
경도(홍콩) |
2000 |
저항(옴-cm) |
1×10-5 |
열 안정성 |
<2500 ~ |
흑연 치수 변경 |
-10~-20um (참고값) |
코팅 두께 |
≤20um 일반 값(35um±10um) |
|
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위의 값은 일반적인 값입니다. |
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더 읽어보기문의 보내기Semicorex Tantalum Carbide Coated Ring은 반도체 공정에 사용되는 중요한 부품입니다. 이는 반도체 기계 내 흑연 부품의 효율성과 수명을 향상시키기 위해 다양한 기능을 제공하는 특수 코팅으로 설계되었습니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
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