TaC 코팅 흑연은 독점적인 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 고순도 흑연 기판의 표면을 미세한 탄탈륨 탄화물 층으로 코팅하여 생성됩니다.
탄탈륨 카바이드(TaC)는 탄탈륨과 탄소로 구성된 화합물입니다. 금속 전기 전도성과 매우 높은 융점을 갖고 있어 강도, 경도, 내열성 및 내마모성으로 유명한 내화 세라믹 재료입니다. 탄탈륨 탄화물의 녹는점은 순도에 따라 약 3880°C에서 최고조에 달하며 이원 화합물 중에서 가장 높은 녹는점 중 하나입니다. 이는 더 높은 온도 요구가 MOCVD 및 LPE와 같은 화합물 반도체 에피택셜 공정에 사용되는 성능 능력을 초과할 때 매력적인 대안이 됩니다.
Semicorex TaC 코팅의 소재 데이터
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프로젝트 |
매개변수 |
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밀도 |
14.3(gm/cm3) |
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방사율 |
0.3 |
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CTE (×10-6/케이) |
6.3 |
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경도(홍콩) |
2000 |
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저항(Ω-cm) |
1×10-5 |
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열 안정성 |
<2500℃ |
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흑연 치수 변경 |
-10~-20um (참고값) |
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코팅 두께 |
≥20um 일반 값(35um±10um) |
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위의 값은 일반적인 값입니다. |
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