MOCVD에 의해 탄화규소 코팅으로 제작된 Semicorex 웨이퍼 척은 우수한 급속 냉각 및 가열 저항, 내마모성, 매우 긴 수명 특성을 가지고 있습니다. 반도체 산업의 칩 생산 중 다양한 공정에서 Si 웨이퍼용 플레이트를 고정하고 지지하는 훌륭한 소재입니다.
● 강성
● 낮은 열팽창
● 낮은 무게
Semicorex Porous Alumina Chucks는 35-40% 다공성을 갖춘 미세 다공성 검은 알루미나 진공 고정물이며, 반도체 제조에서 균일 한 흡입 및 안전한 웨이퍼 취급을 제공하도록 설계되었습니다. Semicorex를 선택한다는 것은 신뢰할 수있는 세라믹 엔지니어링, 우수한 재료 품질 및 수율 및 공정 안정성을 보호하는 일관된 성능을 의미합니다.*
더 읽어보기문의 보내기Semicorex AL2O3 진공 척은 35-40%의 다공성을 갖는 검은 색 알루미나로 만든 미세 다공성 세라믹 흡착 고정물이며, 특히 반도체 응용 분야에서 웨이퍼 처리를 위해 설계되었습니다. Semicorex를 선택한다는 것은 고급 세라믹 기술, 정밀 엔지니어링 및 신뢰할 수있는 제품 품질의 혜택을 누릴 수 있다는 것을 의미합니다.
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