실리콘 카바이드 세라믹(SiC)은 실리콘과 탄소를 포함하는 고급 세라믹 소재입니다. 실리콘 카바이드 입자는 소결에 의해 함께 결합되어 매우 단단한 세라믹을 형성할 수 있습니다. Semicorex는 귀하의 요구에 따라 맞춤형 실리콘 카바이드 세라믹을 공급합니다.
애플리케이션
실리콘 카바이드 세라믹을 사용하면 재료 특성이 1,400°C 이상의 온도까지 일정하게 유지됩니다. 400GPa 이상의 높은 영률은 뛰어난 치수 안정성을 보장합니다.
실리콘 카바이드 구성 요소의 일반적인 응용 분야는 예를 들어 펌프 및 드라이브 시스템에서 마찰 베어링과 기계적 밀봉을 사용하는 동적 밀봉 기술입니다.
고급 특성을 갖춘 실리콘 카바이드 세라믹은 반도체 산업에서 사용하기에 이상적입니다.
웨이퍼 보트
Semicorex Wafer Boat는 소결 실리콘 카바이드 세라믹으로 제작되어 내식성이 우수하고 고온 및 열충격에 대한 내성이 우수합니다. 고급 세라믹은 뛰어난 내열성과 플라즈마 내구성을 제공하는 동시에 고용량 웨이퍼 캐리어의 입자와 오염 물질을 완화합니다.
반응 소결 실리콘 카바이드
다른 소결 공정에 비해 치밀화 공정 중 반응 소결의 크기 변화가 적고 정확한 치수의 제품 생산이 가능합니다. 그러나 소결체에 다량의 SiC가 존재하면 반응 소결된 SiC 세라믹의 고온 성능이 악화됩니다.
무가압 소결 실리콘 카바이드
압력이 없는 소결 실리콘 카바이드(SSiC)는 특히 가볍고 동시에 단단한 고성능 세라믹입니다. SSiC는 극한의 온도에서도 거의 일정하게 유지되는 높은 강도를 특징으로 합니다.
재결정 실리콘 카바이드
재결정 탄화규소(RSiC)는 고순도 탄화규소 조분말과 고활성 탄화규소 미분말을 혼합하여 그라우팅 후 2450℃에서 진공소결하여 재결정화한 차세대 소재입니다.
|
|
반응 소결 실리콘 카바이드 |
압력이 없는 소결 실리콘 카바이드 |
재결정 실리콘 카바이드 |
대표적 특성 |
단위 |
가치 |
|
|
부피 밀도 |
g/cm3 |
3 |
3.15 ± 0.03 |
2.60-2.70 |
굴곡강도 |
MPa(kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) |
압축 강도 |
MPa(kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
경도 |
누프 |
2700 |
2800 |
/ |
끈기 깨기 |
MPa·m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
열 전도성 |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
열팽창 계수 |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
비열 |
줄/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
공기 중 최대 온도 |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
탄성계수 |
GPA |
360 |
410 |
240 |
굴곡강도 |
MPa(kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) |
Semicorex Wafer Boat Carrier는 반도체 처리 분야에서 혁신의 정점에 서 있습니다. 흑연으로 세심하게 제작되고 CVD(화학 기상 증착) SiC(실리콘 카바이드) 코팅으로 강화된 이 캐리어는 정밀 공학과 첨단 재료 과학의 전형을 보여줍니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
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