Semicorex RTP 캐리어는 화학기상증착(CVD) 공정을 사용하여 탄화규소 코팅 처리되어 있어 RTA, RTP 또는 거친 화학적 세척에 매우 안정적입니다. 반도체 공정의 핵심인 에피택시 서셉터는 증착 환경에 먼저 노출되기 때문에 내열성과 내식성이 높습니다. SiC 코팅 캐리어는 또한 높은 열 전도성과 우수한 열 분포 특성을 가지고 있습니다.
Semicorex SiC 코팅 흑연 플레이트는 SiC 및 GaN 에피택시의 엄격한 요구 사항을 위해 특별히 설계된 고순도 캐리어로, 등방성 흑연 기판에 조밀한 CVD 실리콘 카바이드 코팅을 활용하여 고수율 웨이퍼 처리를 위한 안정적이고 화학적으로 불활성인 열 장벽을 제공합니다. Semicorex는 글로벌 고객을 위해 검증된 제품과 서비스를 제공합니다.*
Semicorex RTP SIC 코팅 플레이트는 빠른 열 처리 환경을 요구하는 데 사용하도록 설계된 고성능 웨이퍼 캐리어입니다. 주요 반도체 제조업체로 신뢰할 수있는 Semicorex는 엄격한 품질 표준 및 정밀 제조로 뒷받침되는 우수한 열 안정성, 내구성 및 오염 제어를 제공합니다.*.
Semicorex의 RTP 흑연 캐리어 플레이트는 에피택셜 성장 및 웨이퍼 핸들링 처리를 포함한 반도체 웨이퍼 처리 응용 분야를 위한 완벽한 솔루션입니다. 당사 제품은 우수한 내열성과 열 균일성을 제공하도록 설계되어 에피택시 서셉터가 높은 내열성과 내식성을 갖춘 증착 환경에 노출되도록 보장합니다.
Semicorex RTP SiC 코팅 캐리어는 뛰어난 내열성과 열 균일성을 제공하여 반도체 웨이퍼 처리 응용 분야에 완벽한 솔루션을 제공합니다. 고품질 SiC 코팅 흑연을 사용하는 이 제품은 에피택셜 성장을 위한 가장 가혹한 증착 환경을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 높은 열 전도성과 우수한 열 분포 특성은 RTA, RTP 또는 가혹한 화학 세척에 대한 안정적인 성능을 보장합니다.
Semicorex RTP/RTA SiC 코팅 캐리어는 가장 까다로운 증착 환경 조건을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 높은 내열성과 내식성을 바탕으로 Epitaxis 성장에 최적의 성능을 제공하도록 설계된 제품입니다. SiC 코팅 캐리어는 높은 열 전도성과 뛰어난 열 분포 특성을 갖고 있어 RTA, RTP 또는 가혹한 화학 세척에 대한 안정적인 성능을 보장합니다.
Semicorex는 수년 동안 RTP 캐리어을(를) 생산해 왔으며 중국의 전문 RTP 캐리어 제조업체 및 공급업체 중 하나입니다. 대량 포장을 제공하는 당사의 고급 내구성 제품을 구매하면 대량의 빠른 배송을 보장합니다. 수년에 걸쳐 우리는 고객에게 맞춤형 서비스를 제공했습니다. 고객은 우리 제품과 우수한 서비스에 만족합니다. 우리는 진심으로 귀하의 신뢰할 수 있는 장기 비즈니스 파트너가 되기를 기대합니다! 우리 공장에서 제품을 구입하는 것을 환영합니다.