중국 캔틸레버 패들 제조업체, 공급업체, 공장

처리하는 동안 반도체 웨이퍼는 특수 용광로에서 가열해야 합니다. 반응기는 길쭉한 원통형 튜브로 구성되며 웨이퍼는 웨이퍼 보트에 미리 정해진 등거리로 배치됩니다. 웨이퍼 처리에 사용되는 다른 장치는 실리콘 카바이드(SiC)와 같은 재료로 제작됩니다.

처리할 웨이퍼 배치를 적재한 보트는 긴 캔틸레버 패들에 위치하며, 이를 통해 튜브형 용광로 및 반응로에 삽입하거나 제거할 수 있습니다. 패들은 하나 이상의 보트가 위치할 수 있는 편평한 캐리어 섹션과 패들을 다룰 수 있는 편평한 캐리어 섹션의 한쪽 끝에 위치된 긴 핸들을 포함합니다.

캔틸레버 패들은 CVD SiC 박층이 있는 재결정 실리콘 카바이드를 사용하는 것이 좋습니다. 이는 고순도이며 반도체 공정 부품에 가장 적합합니다.

세미코렉스는 도면 및 작업환경에 따른 맞춤형 서비스를 제공할 수 있습니다.