중국 캔틸레버 패들 제조업체, 공급업체, 공장

가공 중에 반도체 웨이퍼는 특수 용광로에서 가열되어야 합니다. 반응기는 길쭉한 원통형 튜브로 구성되어 있으며, 웨이퍼는 미리 결정된 등거리로 웨이퍼 보트에 위치합니다. 챔버 내의 처리 조건을 유지하고 처리 장비, 웨이퍼 보트 및 기타 여러 장치에서 웨이퍼에 대한 폐기물을 최소화하기 위해 웨이퍼 처리에 사용되는 다른 장치는 탄화규소(SiC)와 같은 재료로 제작됩니다.

처리할 웨이퍼 묶음이 적재된 보트는 긴 캔틸레버식 패들 위에 위치하며 이를 통해 관형 용광로 및 반응로에 삽입하거나 꺼낼 수 있습니다. 패들은 하나 이상의 보트가 위치할 수 있는 평평한 캐리어 섹션과 패들을 다룰 수 있는 평평한 캐리어 섹션의 한쪽 끝에 위치하는 긴 핸들을 포함합니다.

캔틸레버 패들은 CVD SiC 박층의 재결정 탄화규소를 사용하는 데 권장되며, 이는 순도가 높고 반도체 공정 부품에 가장 적합한 선택입니다.

Semicorex는 도면 및 작업 환경에 따라 맞춤형 서비스를 제공할 수 있습니다.