전문제조업체로서 Wafer Heater를 공급해 드리고자 합니다. 증착 장비용 히터는 높은 순도와 플라즈마 저항성과 함께 웨이퍼 전체에 균일한 열 분포를 요구합니다. Semicorex는 히터 및 도가니를 포함한 CVD 탄화규소 코팅 가열 애플리케이션을 공급하며, 당사의 고급 가열 부품은 진공 증착 환경 ALD-CVD-PVD 공정에 적합합니다.
Semicorex SiC 가열 필라멘트는 고급 반도체 제조에서 웨이퍼 가열을 위해 설계된 탄화 규소 코팅 흑연 히터입니다. Semicorex를 선택한다는 것은 가장 까다로운 열 공정에 대해 고순도 재료, 정밀한 맞춤화 및 오래 지속되는 성능을 제공하는 신뢰할 수 있는 파트너를 선택한다는 것을 의미합니다.*
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