엔드 이펙터는 웨이퍼 처리 장비와 캐리어의 위치 간에 반도체 웨이퍼를 이동시키는 로봇의 손입니다. 엔드 이펙터는 장치를 손상시키거나 미립자 오염을 발생시키지 않고 웨이퍼를 안전하게 처리할 수 있도록 치수가 정확하고 열적으로 안정적이어야 하며, 부드럽고 내마모성 표면을 가져야 합니다.
Semicorex 고순도 탄화규소(SiC) 코팅 구성 요소는 우수한 내열성, 균일한 에피층 두께 및 저항성을 위한 균일한 열 균일성, 내구성 있는 내화학성을 제공합니다.
Semicorex Alumina Ceramic Arm은 반도체 제조에서 정확하고 오염이없는 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고급 로봇 성분입니다. Semicorex를 선택하면 고급 알루미나 세라믹 재료 품질뿐만 아니라 중요한 프로세스 환경에서 내구성, 청결 및 신뢰성을 보장하는 정밀 장인 정신이 보장됩니다.*
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