엔드 이펙터는 웨이퍼 처리 장비와 캐리어의 위치 간에 반도체 웨이퍼를 이동시키는 로봇의 손입니다. 엔드 이펙터는 장치를 손상시키거나 미립자 오염을 발생시키지 않고 웨이퍼를 안전하게 처리할 수 있도록 치수가 정확하고 열적으로 안정적이어야 하며, 부드럽고 내마모성 표면을 가져야 합니다.
Semicorex 고순도 탄화규소(SiC) 코팅 구성 요소는 우수한 내열성, 균일한 에피층 두께 및 저항성을 위한 균일한 열 균일성, 내구성 있는 내화학성을 제공합니다.