팬케이크 서셉터(Pancake Suceptor)는 반도체 공정에 사용되는 웨이퍼 캐리어의 둥근 모양이다.
에피택시는 반도체 웨이퍼의 에피택셜 층을 성장시키는 반도체 공정의 중요한 단계로, 웨이퍼는 흑연 서셉터 위에 운반됩니다. 흑연 서셉터의 품질은 에피웨이퍼의 품질에 중요한 영향을 미칩니다.
탄화규소 코팅이 된 흑연 서셉터
Semicorex는 다음을 포함한 모든 에피택시 반응기에 대한 서셉터와 구성 요소를 공급합니다.배럴 서셉터그리고 팬케이크 서셉터. 고순도 흑연과 CVD SiC 코팅을 사용합니다.