PSS(Patterned Sapphire Substrate) 에칭 캐리어는 LED 장치 제조에 사용됩니다. PSS 식각 캐리어는 LED 구조를 구성하는 질화갈륨(GaN) 박막 성장을 위한 기판 역할을 한 후 식각 공정을 거치게 됩니다. 그래서 내열성과 내식성이 뛰어난 소재가 요구됩니다. Semicorex SiC 코팅 PSS 에칭 캐리어는 이러한 까다로운 에피택시 장비 응용 분야를 위해 특별히 설계되었습니다. 캐리어는 CVD 방법으로 코팅된 탄화규소이며, 열전도율이 높고 열 분포 특성이 뛰어납니다.