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소식

웨이퍼의 노치는 무엇입니까?

웨이퍼 노치는 반도체 웨이퍼 가장자리에 있는 V자형 또는 U자형 홈입니다. 이는 제조 과정에서 발생하는 결함이 아니라 의도적으로 설계된 중요한 구조적 마커이며, 핵심 기능은 웨이퍼의 정확한 위치 및 방향 식별을 가능하게 하는 것입니다. 웨이퍼 플랫은 웨이퍼 기술 개발 초기 단계에서 방향 표시로 사용되었습니다. 그러나 웨이퍼 크기가 점차 증가함에 따라 플랫 에지 디자인이 더 많은 유효 영역을 차지하게 되었고 점차 더 컴팩트한 노치로 대체되었습니다.

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TaC 코팅은 반도체의 흑연 부품을 어떻게 보호합니까?

이것이 바로 TaC 코팅의 판도를 바꾸는 혁신이 등장하는 곳이며, Semicorex의 고급 솔루션이 가장 지속적인 생산 문제점을 직접 해결하도록 설계된 이유입니다. 흑연은 열적 특성이 뛰어나지만 견고한 차폐 장치가 없으면 많은 공정 챔버 내부의 공격적인 조건을 견딜 수 없습니다.

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에칭 및 에칭 형태

반도체 칩 제조 과정은 마치 쌀알 위에 초고층 건물을 짓는 것과 같습니다. 리소그래피 기계는 "빛"을 사용하여 웨이퍼에 건물의 청사진을 그리는 도시 계획가와 같습니다. 에칭은 정밀 도구를 사용하는 조각가와 같으며 청사진에 따라 채널, 구멍 및 선을 정확하게 조각하는 작업을 담당합니다. 이러한 "채널"의 단면을 주의 깊게 관찰하면 그 모양이 균일하지 않다는 것을 알 수 있습니다. 일부는 사다리꼴(상단이 더 넓고 하단이 더 좁음)이고 다른 일부는 완벽한 직사각형(수직 측벽)입니다. 이러한 모양은 임의적이지 않습니다. 그 뒤에는 칩의 성......

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CMP 공정에서 디싱(Dishing)과 침식(Erosion)이란 무엇입니까?

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Wafer Saw 공정에서 CO2가 유입되는 이유

자기 윤활 부싱이란?