챔버 뚜껑은 증착 챔버에서 깨끗하고 불활성이며 보호된 환경을 만드는 데 사용되므로 증착 또는 식각 공정 중에 플라즈마 및 고온에 노출됩니다. Semicorex 챔버 덮개는 화학 기상 증착(CVD) 방법을 사용하여 탄화규소로 코팅된 내구성 있는 세라믹 구성 요소로, 이러한 까다로운 환경을 견딜 수 있습니다.
최첨단 SiC 코팅 흑연 뚜껑 커버로 반도체 장비 영역에서 최고의 성능과 내구성을 경험해 보세요. 이 디스크 모양의 구성 요소는 다양한 반도체 응용 분야를 위해 전문적으로 설계되었으며 흑연과 탄화 규소(SiC) 코팅의 독특한 조합을 제공하여 기능과 효율성을 향상시킵니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
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