Semicorex 흑연 센터 플레이트 또는 MOCVD 서셉터는 화학 기상 증착(CVD) 방법으로 코팅된 고순도 탄화규소로, 웨이퍼 칩에 에피택셜 층을 성장시키는 공정에 사용됩니다. SiC 코팅된 서셉터는 MOCVD의 핵심 부품이므로 우수한 내열성, 내화학성, 높은 열 균일성이 요구됩니다. 우리는 이러한 까다로운 에피택시 장비 응용 분야를 위해 특별히 설계했습니다.
Semicorex 1x2" 흑연 웨이퍼 서셉터는 반도체 웨이퍼의 에피택셜 공정에 매우 적합한 2인치 웨이퍼용으로 특별히 설계된 고성능 운반 부품입니다. 업계 최고의 재료 순도, 정밀 엔지니어링 및 까다로운 에피택셜 성장 환경에서 비교할 수 없는 신뢰성을 위해 Semicorex를 선택하십시오.
더 읽어보기문의 보내기SiC 코팅 흑연 MOCVD 서셉터는 웨이퍼 기판을 고정하고 가열하는 MOCVD(금속-유기 화학 기상 증착) 장비에 사용되는 필수 부품입니다. 뛰어난 열 관리, 내화학성 및 치수 안정성을 갖춘 SiC 코팅 흑연 MOCVD 서셉터는 고품질 웨이퍼 기판 에피택시를 위한 최적의 옵션으로 간주됩니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex MOCVD 웨이퍼홀더는 SiC 에피택시 성장에 없어서는 안 될 구성 요소로 탁월한 열 관리, 내화학성 및 치수 안정성을 제공합니다. Semicorex의 웨이퍼 홀더를 선택하면 MOCVD 공정의 성능이 향상되어 반도체 제조 작업에서 더 높은 품질의 제품과 더 높은 효율성을 얻을 수 있습니다. *
더 읽어보기문의 보내기Semicorex가 개발한 Semicorex MOCVD 3x2'' 서셉터는 현대 반도체 제조 공정의 복잡한 요구 사항을 충족하도록 특별히 맞춤 제작된 혁신과 엔지니어링 우수성의 정점을 나타냅니다.**
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