중국 다공성 흑연 제조업체, 공급업체, 공장

오늘날 대부분의 SiC 기판 생산업체는 핫 필드 공정을 위해 다공성 흑연 실린더가 포함된 도가니 설계를 사용합니다. 이 공정에는 흑연 도가니 벽과 다공성 흑연 원통 사이에 고순도 SiC 입자를 배치하는 동시에 도가니를 깊게 하고 직경을 늘리는 과정이 포함됩니다. 이는 공급원료의 증발 면적을 증가시키는 동시에 충전량도 증가시킵니다.

새로운 공정은 원료 표면이 성장함에 따라 원료 상부의 재결정으로 인해 발생하는 결정 결함이 승화 물질의 플럭스에 영향을 미치는 문제를 해결한 것이다. 또한, 새로운 공정은 결정 성장에 대한 원료 영역의 온도 분포 민감도를 줄이고 물질 전달 효율을 안정화하며 성장 후기 단계에서 탄소 함유물의 영향을 줄이고 SiC 결정의 품질을 더욱 향상시킵니다. 또한 새로운 공정은 종자결정이 달라붙지 않는 무종자 결정트레이 고정방식을 채택해 열팽창을 자유롭게 하고 응력완화를 촉진한다. 이 새로운 프로세스는 열장을 최적화하고 팽창 효율성을 크게 향상시킵니다.

이 새로운 공정으로 얻은 SiC 단결정의 품질과 수율은 도가니 흑연과 다공성 흑연의 물리적 특성에 크게 좌우된다는 점에 유의하는 것이 중요합니다. 그러나 현재 시장의 공급은 늘어나는 수요에 비해 매우 부족합니다.

다공성 흑연의 주요 특징:

적합한 기공 크기 분포;

충분히 높은 다공성;

처리 및 사용 요구 사항을 충족하는 기계적.

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