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MOCVD 시스템이란 무엇입니까?

2023-04-06

MOCVD(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)로 알려진 MOCVD는 기판 위에 얇은 반도체 필름을 성장시키는 기술입니다. MOCVD를 사용하면 특정 광학적 및 전기적 특성을 가진 재료를 형성하기 위해 각각 제어된 두께로 많은 나노층을 매우 정밀하게 증착할 수 있습니다.

MOCVD 시스템은 금속 유기 전구체를 사용하여 기판에 물질의 박막을 증착하는 일종의 화학 기상 증착(CVD) 시스템입니다. 이 시스템은 반응기 용기, 가스 전달 시스템, 기판 홀더 및 온도 제어 시스템으로 구성됩니다. 금속 유기 전구체는 캐리어 가스와 함께 반응기 용기에 도입되며 온도는 고품질 박막의 성장을 보장하기 위해 신중하게 제어됩니다.



MOCVD를 사용하면 다른 증착 기술에 비해 몇 가지 장점이 있습니다. 한 가지 장점은 박막의 두께와 구성을 정밀하게 제어하여 복잡한 재료를 증착할 수 있다는 것입니다. 이는 박막의 재료 특성이 장치의 성능에 상당한 영향을 미칠 수 있는 고성능 반도체 장치의 생산에 특히 중요합니다.

MOCVD의 또 다른 장점은 실리콘, 사파이어 및 갈륨 비소를 포함한 다양한 기판에 박막을 증착하는 데 사용할 수 있다는 것입니다. 이러한 유연성으로 인해 컴퓨터 칩에서 LED에 이르기까지 광범위한 반도체 장치를 제조하는 데 필수적인 공정입니다.



MOCVD 시스템은 반도체 산업에서 널리 사용되며 많은 첨단 기술 개발에 중요한 역할을 해왔습니다. 예를 들어, MOCVD는 조명 및 디스플레이 응용 분야를 위한 고효율 LED와 광전지 응용 분야를 위한 고성능 태양 전지를 생산하는 데 사용되었습니다.