2025-03-14
펠트 제품은 반도체 결정 성장 및 에피 택셜 프로세스에서 필수 물질이며 주로 열 단열의 목적을 달성합니다.
1. 반도체에서 열 단열재가 느껴집니다
칩, 철도 교통, 스마트 그리드, 새로운 에너지 차량. 훌륭하고 깨끗하고 안정적인 열전대는 반도체의 결정 성장 및 에피 택시에서 매우 중요한 역할을합니다. 좋은 열 단열재는 열 필드 환경의 안정성을위한 주요 요인입니다.
2. 탄소 섬유 강성 열 단열재 펠트
반도체 결정 성장/에피 택셜 열 필드에서 탄소 섬유 강성 열 단열재 사용의 장점 : 우수한 열 절연 성능, 우수한 가공성, 장기 수명 등.
단점 :
(1) 파우더를 잃기 쉬운 : 전극과 접촉 할 때 스파크의 위험이있어 결정 성장 환경을 오염시킵니다. (2) 산화 및 부식 : 구조 실패, 열 절연 성능 저하, 결정 성장 공정의 안정성에 영향을 미칩니다.
펠트 재료의 유리 같은 탄소 코팅은 미세한 수준에서 유리 같은 구조를 갖는 매끄러운 표면을 특징으로하는 고급 재료입니다. 이 독특한 형태는 탁월한 경도를 제공하고 흑연 또는 펠트 기반 복합 재료에 비해 먼지 생성을 크게 줄입니다. 유리와 같은 탄소의 밀도가 높은 구조는 결정 성장 및 에피 택셜 공정과 같은 최소한의 먼지가 필요한 응용 분야에 특히 유리하며, 여기서 먼지 감소는 아크의 위험을 최소화하는 데 중요합니다.
유리 같은 탄소는 높은 ID/IG 비율을 가지며, 이는 낮은 흑연을 나타냅니다. 이 특징은 열 절연 성능을 향상시켜 단열 응용 분야에 탁월한 선택이됩니다. 흑연과 비교할 때 유리 같은 탄소는 우수한 내열성 및 열 안정성을 제공하여 고온 환경에서 신뢰할 수있는 성능을 보장합니다.
유리 같은 탄소의 뛰어난 열 안정성은 극한 온도에서 무결성을 유지하여 고온 응용에 적합합니다. 고온에 대한 이러한 저항은 특히 결정 성장 및 에피 택셜 증착과 같은 반도체 제조 공정에서 유리합니다. 이러한 공정에 사용 된 구성 요소의 내구성과 수명을 개선함으로써 유리 같은 탄소 코팅은 첨단 산업의 효율성 및 신뢰성에 기여합니다.
요약하면, 유리 같은 탄소 코팅은 경도, 낮은 먼지 방출, 우수한 열 단열 및 고온에서의 뛰어난 안정성으로 인해 매우 유망한 재료입니다. 오염 위험을 줄이고 중요한 부품의 수명을 연장하는 능력은 특히 반도체 제조 및 고온 처리 환경에서 고급 산업 응용 분야에서 귀중한 자산이됩니다.
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