알루미나 재료 소개

알루미나 세라믹성분은 높은 경도, 높은 기계 강도, 초마 내마모성, 고온 저항, 높은 저항력 및 우수한 전기 절연 성능과 같은 우수한 특성을 가지고 있습니다. 진공 및 고온과 같은 특수 환경에서 반도체 제조의 복잡한 성능 요구 사항을 충족 할 수 있습니다. 그들은 반도체 제조 생산 라인에서 대체 할 수없고 중요한 역할을합니다. 그들의 응용 프로그램은 거의 모든 반도체 제조 장비를 다루며 반도체 생산 장비의 주요 구성 요소입니다. 반도체 산업의 지속적인 개발로 인해 산업 체인에서 알루미나 세라믹 성분의 중요성이 더욱 두드러 질 것입니다.

칩 기능 크기가 감소함에 따라 반도체 장비는 구성 요소에 대한 더 엄격한 요구 사항을 가지고 있으며 밀도, 균일 성, 부식 저항 등이 높아야합니다. 최근에 국내 및 외국 학자들은 알루미나 세라믹 재료의 소결 조건을 개선하기위한 다양한 새로운 과정을 개발하여 자체 추적, 플래시 소결, 차가운 소결, 진동 압력 소결과 같은 하부 소결 온도에서 재료의 빠른 밀도를 달성 할 수 있도록 다양한 새로운 과정을 개발했습니다. 그중에서도, 냉기 소결은 분말에 과도 용매를 추가하고 입자들 사이의 재 배열 및 확산을 향상시키기 위해 큰 압력 (350 ~ 500mpa)을 적용하여 세라믹 분말이 더 낮은 온도 (120 ~ 300 ℃) 및 짧은 시간에서 소결되고 밀도 될 수 있도록하는 것입니다.

현재 글로벌 통합 회로 제조 공정은 3 나노 미터 수준에서보다 고급 프로세스로 개발되었습니다. 반도체 장비 및 반도체 장비 정밀 부품은 지속적으로 개발 및 업그레이드되어야하며 다운 스트림 제조 요구를 충족시키기 위해 프로세스 개선을 수행해야합니다. 반도체 장비가 업데이트되면 구성 요소에 대한 새로운 장비의 특정 요구 사항이 동시에 변경됩니다. 반도체 기술의 개발을 통해 알루미나 세라믹 구성 요소의 성능 요구 사항은 내마모성 높은 내마모성, 고온 저항 및 더 나은 전기 절연을 포함하여 점점 높아지고 있습니다. 업계 트렌드는 순도가 높고, 더 미세한 구조 알루미나 분말 재료를 개발하고, 고급 준비 기술을 채택하는 경향이 있습니다.

알루미나 세라믹반도체 필드에서 사용될 때는 일반적으로 99.5%보다 큰 순도 요구 사항이 매우 높습니다. 반도체 필드에서 알루미나 세라믹 부품은 반도체 장비의 주요 부분 중 하나입니다. 그들 대부분은 웨이퍼에 가까운 챔버에 사용됩니다. 반도체 장비에서, 그것들은 사용으로 분류되며 주로 환형 실린더, 공기 흐름 가이드, 하중 기반 고정, 손으로 그립 된 개스킷, 모듈 등으로 나뉩니다.

에칭 과정에서, 플라즈마 에칭 중 웨이퍼의 오염을 줄이기 위해, 강한 부식성을 갖는 고순도 알루미나 코팅 또는 알루미나 세라믹은 에칭 챔버 및 챔버 안감의 보호 재료로 선택된다.

혈장 세정 공정에서, 불소 및 염소와 같은 고도로 반응성이 높은 할로겐 원소를 함유하는 부식성 가스가 사용된다. 가스 노즐은 일반적으로 알루미나 세라믹으로 만들어졌으며, 이는 가스 및 부산물에 대한 높은 혈장 저항성, 유전 강도 및 강한 부식 저항을 가져야합니다. 동시에, 내부 정밀 구멍 구조는 가스 흐름을 정확하게 제어하는 데 사용됩니다.

반도체 제조 공정에서, 웨이퍼는 웨이퍼 전송을위한 캐리어로서 에칭, 이온 이식 등과 같은 고온 처리를 겪을 수있다. 알루미나 웨이퍼 캐리어는 우수한 열 전도성을 가지며 웨이퍼에 의해 생성 된 열을 효과적으로 분산시키고 내보내므로 웨이퍼가 열 손상으로부터 보호됩니다.

웨이퍼 취급에서 알루미나 세라믹으로 만든 세라믹 로봇 암이 사용됩니다. 로봇의 손에 해당하는 웨이퍼 처리 로봇에 설치됩니다. 웨이퍼를 지정된 위치로 운반 할 책임이 있으며 표면은 웨이퍼와 직접 접촉합니다. 웨이퍼는 다른 입자에 의한 오염에 매우 취약하기 때문에 일반적으로 진공 환경에서 수행됩니다. 이 환경에서 대부분의 재료의 로봇 암은 일반적으로 작업을 완료하기가 어렵다는 것을 알게됩니다. 로봇 암을 만드는 데 사용되는 재료는 고온에 저항력이 있어야하며 내마모성이 높고 경도가 높아야합니다. 작업 조건의 요구 사항으로 인해 일반적으로 매우 고급스러운 알루미나 세라믹 재료로 만들어지며 세라믹 부품의 정확성과 표면 거칠기를 보장해야합니다.

Semicorex는 고품질을 제공합니다알루미나 세라믹 부품SIC 코팅 및 TAC 코팅을 포함한 반도체에서. 문의 사항이 있거나 추가 세부 정보가 필요한 경우 주저하지 마십시오.

전화 # +86-13567891907로 문의하십시오

이메일 : sales@semicorex.com