실리콘 카바이드 웨이퍼 보트

웨이퍼 제조의 모든 고온 공정 뒤에는 조용하지만 중요한 플레이어 인 웨이퍼 보트가 있습니다. 웨이퍼 처리 동안 실리콘 웨이퍼와 직접 접촉하는 핵심 캐리어로서, 재료, 안정성 및 청결은 최종 칩 수율 및 프로세스 안정성과 직접 관련이 있습니다. 다양한 캐리어 재료 중에서실리콘 카바이드 (sic)보트는 기존의 석영 솔루션을 점차적으로 교체하여 고급 공정 및 고급 장비에 선호되는 솔루션이되었습니다.

왜 sic 웨이퍼 보트인가?

7Nm 미만의 공정 노드의 발전과 고온 공정 창의 확장으로 전통적인 석영 웨이퍼 보트는 열 안정성, 입자 제어 및 수명 관리 측면에서 점점 어려움을 겪고 있습니다.

그러나 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 다음과 같은 이점으로 인해 점차 두드러지고 있습니다.

1. 고온에서의 경우 :

그들은 1350-1600 ° C의 장기 작동 온도를 제공하며 CVD, 확산 및 어닐링과 같은 주류 공정을 쉽게 처리합니다. 1800 ° C의 온도에 대한 간단한 노출조차도 연화 또는 변형이 없으므로 단결정 실리콘 카바이드 용광로와 같은 고급 장비에 적합합니다.

2. 팽창 및 높은 열 충격 안정성 :

열 팽창 계수가 낮 으면 빠른 온도 증가 및 감소를 견딜 수있어 열 응력으로 인한 구조적 균열을 최소화 할 수 있습니다. 그들은 고온, 복잡한 대기 (예 : 수소, 질소, 암모니아 및 불소)에서 우수한 형태와 성능을 유지합니다.

3. 표면과 매우 낮은 오염 :

최소 금속 불순물을 갖는 높은 재료 순도. 표면 거칠기가 낮아 실리콘 웨이퍼의 2 차 오염을 방지합니다. RA가 0.1μm 미만인 우수한 표면 거칠기 제어는 입자 흘림을 억제하고 고급 공정의 클린 룸 요구 사항을 충족합니다.

4. 원피스 몰딩, 정밀 상급 웨이퍼 보트 구조는 Moldless를 통해 직접 형성 될 수 있습니다.3D 프린팅, 곰팡이의 필요성을 제거하고 커스터마이징 효율을 크게 향상시킵니다. 5 축 가공 및 와이어 절단 기술과 결합 된 보트의 치아는 웨이퍼의 긁힘을 방지하고 부드러운 자동 처리를 보장합니다.

5. 고강도와 장수 : 

단일 보트는 높은 하중 강도를 자랑하며 동시에 수십에서 수백 개의 12 인치 웨이퍼를 지원할 수 있습니다. 전통적인 석영 보트와 비교할 때 보트의 평균 수명은 5-10 배 더 길어 장비 전환 빈도와 총 소유 비용이 줄어 듭니다.

응용 프로그램 시나리오

넓은 적응성실리콘 카바이드 웨이퍼 보트반도체 필드를 넘어 응용 프로그램을 새로운 에너지 재료, LED 제조 및 원자력 연구를 포함한 다양한 고온 공정 시나리오로 확장합니다.

반도체 산업

산화, 확산, CVD 증착 및 이온 임플란트와 같은 주요 공정에 적합하여, 7nm 이하의 공정 라인에 없어서는 안될 고온 담체가됩니다.

태양 광 산업

Topcon 및 HJT와 같은 새로운 배터리 기술에서 웨이퍼 보트는 LPCVD 및 어닐링과 같은 고온 용광로 프로세스에 사용되므로 에너지 효율 및 전환율을 향상시키는 데 도움이됩니다.

3 세대 반도체

LED의 GAN 및 SIC 에피 택셜 성장 공정의 경우 사파이어 또는 실리콘 카바이드 기판을 지원합니다. 그들은 NH₃ 및 HCL과 같은 부식성 가스를 견딜 수 있으며 고주파 전력 장치의 제조를 지원합니다.

새로운 에너지 재료 및 연구 고온 플랫폼

리튬 배터리 캐소드 재료의 소결 반응과 원자력 산업 재료의 열처리, 내열성, 부식성 및 청결성을 결합합니다.

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