탄화규소 공기정역학적 슬라이드 웨이란 무엇입니까?

실리콘 카바이드 공기정역학적 슬라이드웨이는 실리콘 카바이드의 재료 특성과 공기정역학 기술을 결합한 고급 가이드웨이 시스템입니다. 고정밀, 고신뢰성 및 장기 모션 시스템을 위한 최적의 솔루션으로 제공되는 실리콘 카바이드 공기정역학 슬라이드웨이는 최첨단 제조, 과학 연구 장비와 같은 분야에서 널리 사용됩니다.

재료 관점에서 볼 때, 고성능 탄화규소 재료는 뛰어난 고유 특성을 기반으로 탁월한 안정성을 나타냅니다. 이러한 특성에는 특히 높은 강성, 강력한 화학적 안정성, 매우 낮은 열팽창 계수, 우수한 내마모성 및 탁월한 내식성이 포함되며, 이 모든 특성으로 인해 최첨단 제조 분야의 광범위한 응용 분야에서 선호되는 소재가 됩니다. 고순도 탄화규소로 제작된 탄화규소 공압 슬라이드웨이는 앞서 언급한 재료의 장점을 본질적으로 계승하여 복잡하고 가혹한 작동 조건에서도 안정적인 작동을 가능하게 합니다.

구조상 탄화규소 공기정역학적 슬라이드 웨이는 비접촉 구조를 채택합니다. 가스 하이브리드 유체정역학 및 유체역학 효과를 활용하여 실리콘 카바이드 공기정역학적 슬라이드웨이는 마찰과 진동이 없는 부드러운 움직임을 구현합니다. 정밀가공을 거쳐 탁월한 직진도와 평탄도 사양을 보여줍니다. 비접촉식 작동과 결합된 이러한 정밀도 덕분에 마찰 계수가 극도로 낮아져 기계적 마모 위험이 효과적으로 최소화됩니다. 장비의 장기간 고정밀 작동을 유지하기 위해 실리콘 카바이드 공기정역학 슬라이드웨이에는 고정밀 변위 위치 지정을 보장하는 격자 스케일 폐쇄 루프 피드백 시스템이 장착되어 있습니다. 이러한 독창적인 설계는 탄화규소 공기정역학 슬라이드 웨이의 사용 수명을 크게 연장하고 장비 유지 관리 비용을 크게 낮춥니다.

실리콘 카바이드 공기정학적 슬라이드웨이의 적용 시나리오

1. 반도체 제조: 포토리소그래피 기계, 3차원 측정기, 패널 검사 장비, 광학 처리 장비, 배터리 생산 장비의 웨이퍼 스테이지 포지셔닝에 사용됩니다.

2. 정밀 측정: 좌표 측정기, 위치 턴테이블에 사용됩니다.

3. 기타 고급 제조 애플리케이션: 항공우주 시뮬레이션 플랫폼, 자동차 정밀 기기, 레이저 가공 장비 및 바이오칩 조작기에 사용됩니다.

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