웨이퍼의 노치는 무엇입니까?

웨이퍼 노치는 웨이퍼 가장자리에 있는 V자형 또는 U자형 홈입니다.반도체 웨이퍼. 이는 제조 과정에서 발생하는 결함이 아니라 의도적으로 설계된 중요한 구조적 마커이며, 핵심 기능은 웨이퍼의 정확한 위치 및 방향 식별을 가능하게 하는 것입니다. 웨이퍼 플랫은 웨이퍼 기술 개발 초기 단계에서 방향 표시로 사용되었습니다. 그러나 웨이퍼 크기가 점차 증가함에 따라 플랫 에지 디자인이 더 많은 유효 영역을 차지하게 되었고 점차 더 컴팩트한 노치로 대체되었습니다.

웨이퍼 노치의 기능은 무엇입니까? 

칩 제조는 나노미터 규모의 공정이므로 방향이 벗어나면 회로 오류가 발생할 수 있습니다. 방향 표시 역할을 하는 웨이퍼 노치는 리소그래피 및 에칭 기계가 웨이퍼의 결정 방향을 신속하게 식별하여 각 공정 단계의 정확한 정렬을 보장합니다. 각 칩은 본초 자오선과 유사한 노치에 따라 웨이퍼 위에 위치합니다. 이 독창적인 디자인을 통해 회로 패턴을 석판화하고 노치를 기준점으로 배치할 수 있습니다. 또한 고도로 자동화된 생산라인에서 로봇팔은 웨이퍼 노치에 의존해 웨이퍼의 앞면과 뒷면, 방향을 구별해 오작동으로 인한 웨이퍼 손상이나 공정 오류를 크게 방지한다. 노치가 오염되거나 손상되면 전체 웨이퍼가 부적합으로 거부될 수 있습니다.

웨이퍼 노치는 칩 제조 수율 향상에도 중요한 역할을 한다. 웨이퍼 가장자리는 제조 중에 슬립 라인 및 균열과 같은 결함이 발생하기 쉽기 때문에 노치를 통한 정확한 위치 지정을 통해 장비는 이러한 결함 영역을 정확하게 방지하여 낭비를 줄일 수 있습니다. 현대 생산 라인에서는 가장자리 찾기 작업을 위해 에어 서스펜션 회전과 같은 기술도 채택합니다. 비접촉식 감지를 위한 마커 역할을 하는 웨이퍼 노치는 기계적 접촉으로 인한 오염을 방지할 뿐만 아니라 식별 효율성과 정확성도 향상시킵니다.

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