유리 웨이퍼란 무엇입니까?

반도체와 광기술의 발달로유리 웨이퍼새로운 유형의 유리 제품으로서 점차적으로 실리콘 웨이퍼의 보완재가 되어 첨단 기술 분야에서 큰 잠재력을 보여주고 있습니다. 유리 웨이퍼는 무엇입니까? 유리 웨이퍼는 일반적으로 석영 유리, 무알칼리 유리 또는 유리-실리콘 복합재로 만들어진 고성능 원형 얇은 조각입니다. 우수한 물리적, 화학적 특성을 바탕으로 반도체 제조, 광학, MEMS, 가전제품, 바이오의학, 실험실 연구 등 첨단 제조 분야에서 대체할 수 없는 역할을 담당하고 있습니다.

유리 웨이퍼의 주류 재료

1.원자외선 석영유리

원자외선석영유리는 화학기상증착 공정으로 제조되는데, 여기서 기체 사염화규소는 산수소 불꽃에서 기상 반응을 거쳐 비정질 이산화규소를 생성한 다음 점진적인 성장과 형성을 위해 석영 기판에 증착됩니다. 이 물질은 다량의 수산기(950-1400ppm)를 함유하고 있으며 금속 불순물의 총량은 0.2ppm 미만입니다. 원자외선 석영유리는 방사선 차단성, 광학적 균일성, 높은 자외선 투과율(특히 원자외선 영역) 등 우수한 특성으로 인해 원자외선 광학 분야의 응용 분야에 널리 응용되고 있습니다.

그러나 원자외선 석영유리의 대규모 적용은 제조 과정에서 발생하기 쉬운 줄무늬 결함, 대형 및 복잡한 형태의 제품 성형의 어려움, 상대적으로 높은 제조 비용 등의 요인으로 인해 어느 정도 제한됩니다.

2. 자외선 광학 석영 유리:

화염 융합 공정을 통한 자외선 광학 석영 유리는 천연 결정을 산수소 화염으로 녹인 후 용융된 석영 유리 타겟 표면에 증착하여 제조됩니다. 수산기 함량이 150-400ppm인 자외선 광학 석영 유리는 높은 자외선 투과율, 강력한 화학적 안정성, 우수한 열 안정성 및 높은 기계적 강도와 같은 탁월한 이점을 제공합니다. 성숙한 제조 공정과 높은 비용 효율성 덕분에 자외선 광학 석영 유리는 전자 및 반도체 산업에서 널리 사용됩니다.

그러나 자외선 광학 석영 유리는 광학 균일성이 낮고 줄무늬나 미세 기포와 같은 미세한 결함을 포함할 수 있어 광학 이미징 품질과 레이저 전송 안정성에 영향을 미칠 수 있습니다.

3.적외선 광학 석영 유리:

적외선 광학 석영 유리는 진공 전기 융합 공정을 사용하여 결정 분말을 녹여 생산됩니다. 이 소재는 수산기 함량이 낮아(<5ppm) 적외선 투과율이 뛰어납니다. 우수한 적외선 투과율, 우수한 화학적 특성, 높은 기계적 강도 및 성숙한 제조 기술 덕분에 적외선 광학 석영 유리는 적외선 광학 응용 분야에 널리 사용됩니다.

그러나 적외선 광학 석영 유리는 높은 금속 불순물을 포함하고 상대적으로 낮은 레이저 손상 임계값을 제공하므로 매우 높은 원자외선 투과율이 필요한 고에너지 밀도 레이저 응용 분야 및 시나리오에는 적합하지 않습니다.