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TaC코팅

2023-08-07

TaC 세라믹은 녹는점이 3880°C에 달하며, 높은 경도(모스 경도 9~10), 큰 열전도율(22W·m)을 갖고 있습니다.-1·케이-1), 굴곡 강도가 크고(340-400MPa), 열팽창 계수가 작습니다(6.6×10-6K-1), 우수한 열화학적 안정성과 우수한 물리적 특성을 나타내므로 TaC 코팅은 항공우주 열 보호에 널리 사용되며 흑연 및 C/C 복합재는 우수한 화학적 상용성과 기계적 상용성을 갖습니다. ), 우수한 열화학적 안정성과 우수한 물리적 특성을 나타내며, 흑연과 C/C 복합재는 화학적 상용성과 기계적 상용성이 우수하여 항공우주 방열, 단결정 성장, 에너지 및 전자, 의료기기 분야에 널리 사용되는 TaC 코팅, TaC 코팅 흑연은 Bare Graphite나 SiC 코팅 흑연에 비해 내약품성이 우수하며, 2600°의 고온에서도 안정적으로 사용할 수 있습니다. 2600°의 높은 온도 안정성과 많은 금속 원소가 반응하지 않는 3세대 반도체 단결정 성장 및 웨이퍼 에칭 시나리오는 최고의 코팅 성능을 제공하며 온도 및 불순물 제어 프로세스, 높은 준비 공정을 크게 향상시킬 수 있습니다. -품질의 탄화규소 웨이퍼 및 관련 에피택셜 웨이퍼. 특히 GaN이나 AlN 단결정을 성장시키는 MOCVD 장비와 SiC 단결정을 성장시키는 PVT 장비에 적합하며, 성장된 단결정의 품질이 크게 향상됩니다.

 

연구 결과에 따르면,TaC 코팅은 보호 및 격리층 역할을 하여 흑연 부품 수명을 연장하고, 반경 방향 온도 균일성을 개선하며, SiC 승화 화학량론을 유지하고, 불순물 이동을 억제하고, 에너지 소비를 줄일 수 있습니다. 궁극적으로 TaC 코팅 흑연 도가니 세트는 SiC PVT 공정 제어 및 제품 품질을 향상시킬 것으로 기대됩니다.