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건식 에칭과 습식 에칭

2023-08-25

반도체 제조에서 에칭은 포토리소그래피, 박막 증착과 함께 주요 단계 중 하나입니다. 여기에는 화학적 또는 물리적 방법을 사용하여 웨이퍼 표면에서 원하지 않는 물질을 제거하는 작업이 포함됩니다. 이 단계는 코팅, 포토리소그래피, 현상 후에 수행됩니다. 노출된 박막 물질을 제거하고, 웨이퍼의 원하는 부분만 남겨둔 후, 남은 포토레지스트를 제거하는 데 사용됩니다. 이러한 단계는 복잡한 집적 회로를 만들기 위해 여러 번 반복됩니다.



에칭은 건식 에칭과 습식 에칭의 두 가지 범주로 분류됩니다. 건식 에칭은 반응성 가스와 플라즈마 에칭을 사용하는 반면, 습식 에칭은 재료를 부식 용액에 담그는 것을 포함합니다. 건식 에칭은 이방성 에칭을 허용합니다. 즉, 가로 방향의 재료에는 영향을 주지 않고 재료의 수직 방향만 에칭됩니다. 이를 통해 작은 그래픽을 충실하게 전송할 수 있습니다. 반면, 습식 에칭은 제어가 불가능하여 라인 폭이 줄어들거나 라인 자체가 파손될 수도 있습니다. 이로 인해 생산 칩의 품질이 저하됩니다.




건식에칭은 사용되는 이온에칭 메커니즘에 따라 물리적에칭, 화학적에칭, 물리화학적에칭으로 분류된다. 물리적 에칭은 방향성이 높고 이방성 에칭이 가능하지만 선택적 에칭은 불가능합니다. 화학적 식각은 식각의 목적을 달성하기 위해 원자단과 식각할 물질의 화학적 활성에 플라즈마를 사용합니다. 선택성은 좋지만 에칭이나 화학반응의 핵심으로 인해 이방성이 좋지 않습니다.