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반도체 산업의 탄탈륨 카바이드 코팅

2023-09-28

고출력 청색 및 UV LED의 개발로 풀컬러 LED TV 디스플레이는 물론 백색 LED 자동차 및 가정용 조명 제작이 가능해졌습니다. 이 LED는 MOCVD 공정을 사용하여 CVD SiC 코팅 흑연 서셉터로 지지되는 기판 웨이퍼에 증착되는 질화 갈륨을 기반으로 합니다. 그러나 SiC 코팅은 공정에서 사용되는 암모니아 가스에 의해 공격을 받아 수명이 단축됩니다. 코팅 수명을 연장하고 전체 비용을 절감하기 위해 업계에는 보다 불활성인 새로운 코팅 옵션이 필요합니다. 탄탈륨 카바이드는 이러한 공격적인 분위기에 대한 저항성을 크게 향상시키고 현재 사용할 수 없는 솔루션을 제공할 수 있기 때문에 대체품으로 고려되고 있습니다. Semicorex는 CVD TaC 코팅 흑연 부품을 반도체 산업 공급업체에 판매합니다.


당사의 TaC 코팅 흑연 제품은 SiC 코팅 흑연 제품에 비해 내열성이 우수한 것으로 알려져 있습니다. 결과적으로 더 높은 온도에서 사용되는 SiC 웨이퍼의 에피택셜 공정과 같은 반도체 공정에 널리 사용됩니다. 시장 성장에 따라 당사 제품에 대한 수요도 증가하고 있습니다.



Semicorex는 맞춤형 서비스를 통해 고품질 TaC 코팅 흑연 부품을 제공합니다. 문의사항이 있거나 추가 세부정보가 필요한 경우, 주저하지 마시고 연락주시기 바랍니다.


전화번호 +86-13567891907에 문의하세요.

이메일: sales@semicorex.com