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반도체 응용 분야의 석영 제품

2023-11-10

반도체 산업에서는 석영이 널리 사용되며, 고순도 석영 제품은 웨이퍼 생산에서 더욱 중요한 소모품입니다. 실리콘 단결정 도가니, 크리스탈 보트, 확산로 코어 튜브 및 기타 석영 부품을 생산하려면 고순도 석영 유리 제품을 사용해야 합니다. 웨이퍼 파운드리 확산 및 에칭 공정의 주요 목표 시장 응용 분야인 반도체 분야의 석영 부품은 고온 영역 장치와 저온 영역 장치의 두 가지 범주로 나눌 수 있으며 주요 장치는 다음과 같습니다.


1) 고온 영역 장치는 주로 확산 산화이며 노 튜브, 유리 보트 랙 등을 사용하는 기타 측면은 고온 환경에서 실리콘 웨이퍼와 직간접적으로 접촉해야 합니다. 주로 열처리를 통해 생산되는 전기 용융 석영 유리 재료의 조달;

2) 저온 구역 장치는 주로 석영 링과 같은 에칭 링크이지만 저온 환경에서 주로 사용되는 세척 공정 바스켓, 세척 탱크 등도 포함됩니다. 주로 가스 정제 석영 유리를 구입하여 냉간 가공 생산을 통해


그 중 고온존 디바이스는 소비가 빠르지만 멀티칩 머신(2개 이상의 웨이퍼를 운반하는 베어러)과 유사하게 소비가 느리지만, 저온존 디바이스는 소비가 느리지만 모놀리식(웨이퍼를 운반하는 베어러)을 갖는다. ; 따라서 두 가지 전체 시장 규모는 상대적으로 서로 가깝습니다.