SiC 결정 성장에 대한 다공성 흑연 재료의 중요성

세미코렉스의 SiC 결정성장로 부품,다공성 흑연 배럴, 세 가지 주요 이점을 가져올 것이며 국내 경쟁력을 효과적으로 강화할 수 있습니다.SiC 기판:

• SiC 결정 성장 부품의 비용을 절감합니다.
• SiC 결정의 두께를 늘리고 기판의 전체 비용을 줄입니다.
• SiC 결정 수율을 향상시키고 기업 경쟁력을 강화합니다.

SiC 결정 성장로에 다공성 흑연 시트를 추가하는 것은 업계의 핫스팟 중 하나입니다. 삽입함으로써 입증되었습니다.다공성 흑연SiC 소스 분말 위의 시트를 사용하면 결정 영역에서 우수한 물질 전달이 달성되어 기존 결정 성장로에 존재하는 다양한 기술적 문제를 개선할 수 있습니다.

(a) 전통적인 결정 성장로, (b) 다공성 흑연 시트를 이용한 결정 성장로

출처: 동의대학교, 한국

실험에 따르면 전통적인 결정 성장로를 사용할 때 SiC 기판은 일반적으로 다양한 특성을 가지고 있습니다.다형체, 6H 및 15R-SiC와 같은SiC 기판다공성 흑연 기반 결정 성장로를 사용하여 제조한 것은4H-SiC 단결정. 또한 마이크로튜브 밀도(MPD)와 에칭 피트 밀도(EPD)도 크게 감소합니다. 2개의 결정성장로의 MPD는 각각 6~7EA/cm2, 1~2EA/cm2로,최대 6배까지 감소.

Semicorex는 또한 다음을 기반으로 하는 새로운 "일회성 대량 전송" 프로세스를 시작했습니다.다공성 흑연 시트. 다공성 흑연은 매우 좋습니다정화 능력. 새로운 공정은 1차 물질 전달을 위한 새로운 열장을 사용하여 물질 전달 효율을 향상시키고 기본적으로 일정하게 만들어 재결정의 영향을 줄이고(2차 물질 전달 방지) 미세소관 또는 기타 관련 결정 결함의 위험을 효과적으로 줄입니다. 또한, 다공성 흑연은 기상 성분의 균형을 맞추고, 미량 불순물을 분리하며, 국부적인 온도를 조절하고, 탄소 랩핑과 같은 물리적 입자를 줄일 수 있기 때문에 SiC 결정 성장 및 두께 문제를 해결하는 핵심 기술 중 하나이기도 합니다. 크리스탈을 사용할 수 있다는 전제하에,크리스탈의 두께줄일 수 있습니다. 크게 증가할 수 있습니다.

기술적 특징세미코어렉스 다공성 흑연:

다공성은 최대 65%에 달할 수 있습니다.

모공은 고르게 분포되어 있습니다.

높은 배치 안정성;

강도가 높으며 1mm 이하의 초박형 원통형에 도달할 수 있습니다.

Semicorex는 고품질을 제공합니다.다공성 흑연부속. 문의사항이 있거나 추가 세부정보가 필요한 경우, 주저하지 마시고 연락주시기 바랍니다.

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