세라믹 정전 척은 실제로 어떻게 생산됩니까?

전통적인 웨이퍼 클램핑 방법에는 전통적인 기계 산업에서 일반적으로 사용되는 기계적 클램핑과 왁스 본딩이 포함됩니다. 두 방법 모두 웨이퍼를 쉽게 손상시키고 뒤틀림을 유발하며 오염시킬 수 있어 가공 정밀도에 큰 영향을 미칠 수 있습니다.

진공척은 어떻게 발전했으며 왜 발전했나요?세라믹 정전기 척우선의?

시간이 지나면서 다공성 세라믹으로 만든 진공 척이 개발되었습니다. 이러한 척은 실리콘 웨이퍼와 세라믹 표면 사이에 형성된 부압을 사용하여 웨이퍼를 고정하는데, 이는 국부적인 변형을 일으키고 평탄도에 영향을 줄 수 있습니다. 따라서 최근 몇 년 동안,세라믹 정전기 척안정적이고 균일한 흡착력을 제공하고, 웨이퍼 오염을 방지하며, 실리콘 웨이퍼 온도를 효과적으로 제어하는 ​​는 초박형 웨이퍼에 이상적인 클램핑 도구가 되었습니다.

생산 과정은 어떻습니까?세라믹 정전기 척수행되었나요?

일반적으로 다층 세라믹 동시 소성 기술이 사용되는데, 테이프 캐스팅, 슬라이싱, 스크린 프린팅, 라미네이션, 핫 프레싱, 소결 등의 공정이 포함됩니다.

쿨롱형의 경우정전기 척, 유전층은 전도성 물질을 포함하지 않습니다. 세라믹 분말, 용제, 분산제, 결합제, 가소제, 소결조제 등을 혼합하여 안정적인 슬러리를 만드는 과정입니다. 이 슬러리를 닥터블레이드로 코팅하고 건조시킨 후 얇게 썰어 특정 두께의 세라믹 그린시트를 형성합니다. JR형의 경우정전기 척, 추가 저항 조절제(도전성 재료)를 혼합하여 J-R 층에 필요한 저항을 달성한 다음 테이프 캐스팅하여 그린 시트를 형성합니다.

스크린 인쇄는 주로 전극층을 준비하는 데 사용됩니다. 먼저 스크린 인쇄판의 한쪽 끝에 전도성 페이스트를 붓습니다. 스크린 프린터의 스퀴지 작동에 따라 전도성 페이스트가 스크린 플레이트의 메쉬 구멍을 통과하여 기판에 침전됩니다. 스퀴지가 은 페이스트를 스크린 메쉬에 고르게 퍼지게 하면 인쇄 공정이 완료됩니다.

그린 세라믹 시트는 필요한 순서(기판층, 전극층, 유전체층)와 층 수에 따라 적층됩니다. 그런 다음 특정 온도 및 압력 조건에서 함께 압축되어 완전한 녹색 몸체를 형성합니다. 압축 중에 균일한 수축을 보장하려면 압분체의 전체 표면에 압력이 고르게 분포되도록 하는 것이 중요합니다.

마지막으로 전체 미소분체는 용광로에서 통합 소결 과정을 거칩니다. 소결 공정 중 평탄도와 수축을 제어하려면 적절한 온도 프로파일을 설정해야 합니다. 일본의 NGK는 소결 중 분말의 수축률을 10% 내외로 조절할 수 있는 것으로 알려졌는데, 대부분의 국내 제조업체는 여전히 20% 이상의 수축률을 유지하고 있습니다.**

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