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실리콘 카바이드 웨이퍼 가공의 결함 감지

2024-11-29

역할은 무엇입니까SiC 기판탄화규소 산업에 종사하고 계십니까?


SiC 기판실리콘 카바이드 산업에서 가장 중요한 구성 요소로 그 가치의 거의 50%를 차지합니다. SiC 기판이 없으면 SiC 장치를 제조하는 것이 불가능하므로 이를 필수 소재 기반으로 만듭니다.


최근 국내 시장에서는 대량생산에 성공했다.6인치 실리콘 카바이드(SiC) 기판제품. '중국 6인치 SiC 기판 시장 조사 보고서'에 따르면 2023년까지 중국 내 6인치 SiC 기판 판매량은 100만개를 넘어 전 세계 생산능력의 42%를 차지하며, 약 50개에 달할 것으로 예상된다. 2026년까지 %.


6인치 실리콘 카바이드에 비해 8인치 실리콘 카바이드는 더 높은 성능 이점을 갖습니다. 먼저, 재료 활용 측면에서 8인치 웨이퍼는 6인치 웨이퍼에 비해 면적이 1.78배나 된다.8인치 웨이퍼더 많은 장치를 생산할 수 있으므로 단위 비용이 절감됩니다. 둘째, 8인치 SiC 기판은 캐리어 이동도가 높고 전도성이 높아 장치의 전반적인 성능을 향상시키는 데 도움이 됩니다. 또한 8인치 SiC 기판의 기계적 강도와 열 전도성은 6인치 기판보다 우수하여 장치 신뢰성과 방열 기능이 향상됩니다.


준비 공정에서 SiC 에피택셜 층은 어떻게 중요합니까?


에피택셜 공정은 SiC 준비 가치의 거의 4분의 1을 차지하며 재료에서 SiC 장치 준비로 전환하는 데 없어서는 안 될 단계입니다. 에피택셜 층의 준비에는 주로 단결정 필름을 성장시키는 작업이 포함됩니다.SiC 기판, 이는 필요한 전력 전자 장치를 제조하는 데 사용됩니다. 현재 에피택시층 제조에 가장 주류를 이루는 방법은 화학 기상 증착(CVD)으로, 이는 기체 전구체 반응물을 활용하여 원자 및 분자 화학 반응을 통해 고체 막을 형성합니다. 8인치 SiC 기판을 준비하는 것은 기술적으로 어려운 일이며, 현재 전 세계적으로 제한된 수의 제조업체만이 대량 생산을 달성할 수 있습니다. 2023년에는 전 세계적으로 8인치 SiC 기판과 8인치 웨이퍼 관련 확장 프로젝트가 약 12개 정도 진행된다.에피택셜 웨이퍼이미 출하가 시작되었으며, 웨이퍼 제조 능력도 점차 가속화되고 있습니다.


실리콘 카바이드 기판의 결함은 어떻게 식별하고 감지합니까?


높은 경도와 강한 화학적 불활성을 지닌 탄화규소는 슬라이싱, 박화, 연삭, 연마 및 세척과 같은 주요 단계를 포함하여 기판 처리에서 일련의 과제를 제시합니다. 준비 과정에서 공정 손실, 잦은 손상, 효율성 개선의 어려움 등의 문제가 발생하여 후속 에피층의 품질과 장치 성능에 큰 영향을 미칩니다. 따라서 탄화규소 기판의 결함을 식별하고 검출하는 것이 매우 중요합니다. 일반적인 결함으로는 표면 긁힘, 돌출부, 패임 등이 있습니다.


결함은 어떻습니까?실리콘 카바이드 에피택셜 웨이퍼감지되었나요?


산업 체인에서는실리콘 카바이드 에피택셜 웨이퍼탄화 규소 기판과 탄화 규소 장치 사이에 위치하며 주로 화학 기상 증착 방법을 사용하여 성장합니다. 실리콘 카바이드의 고유한 특성으로 인해 결함 유형은 몰락, 삼각형 결함, 당근 결함, 큰 삼각형 결함 및 계단식 결점을 포함하여 다른 결정의 결함 유형과 다릅니다. 이러한 결함은 다운스트림 장치의 전기적 성능에 영향을 미쳐 잠재적으로 조기 파손 및 상당한 누설 전류를 유발할 수 있습니다.


몰락 결함


삼각형 결함


당근 결함



큰 삼각형 결함


단계 번칭 결함


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