흑연은 육각형 결정층 구조를 가진 탄소의 동소체입니다. 전기 전도성, 열전도성, 윤활성, 내열성, 내열 충격성, 화학적 안정성이 뛰어나 '블랙 골드'로 알려져 있습니다. 이러한 이유로 금속은 야금, 기계, 화학공학, 광전지, 반도체, 원자력 산업, 국방 및 항공우주 산업에 널리 사용되며 오늘날 첨단기술 및 신기술 개발에 없어서는 안 될 비금속 소재가 되었습니다.
다양한 적용 시나리오에는 흑연 제품에 대한 성능 요구 사항이 다양하므로 흑연 제품 적용의 핵심 단계는 정확한 재료 선택입니다. 적용 시나리오에 맞는 성능을 갖춘 흑연 부품을 선택하면 서비스 수명을 효과적으로 연장하고 교체 빈도와 비용을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 최종 제품의 생산 품질과 수율을 향상시키는 데도 도움이 됩니다.
흑연 소재의 순도는 부품의 내구성을 직접적으로 결정합니다. 흑연 구성 요소의 불순물(예: Fe, Si, Al)은 고온 진공 환경에서 저융점 화합물을 형성하여 흑연 구성 요소를 천천히 침식하고 균열과 손상을 유발합니다. 반도체 분야의 고정밀 진공로 적용을 위해서는 흑연히터, 흑연도가니, 흑연절연통, 흑연캐리어 등 핵심 부품을 순도 5N 이상의 고순도 흑연으로 제작하고, 재료의 회분 함량을 10ppm 이하로 엄격히 관리해야 합니다.
밀도와 구조는 흑연 재료 선택에서 종종 간과되지만, 이 두 가지 지표는 흑연 구성 요소의 열충격 및 크리프 저항을 결정하는 핵심 요소입니다. 흑연 재료의 밀도가 높을수록 구성 요소의 다공성이 낮을수록 가스 침투 및 열충격에 대한 저항력이 강해지고 사용 중에 균열이 발생할 가능성이 줄어듭니다. 등방성 압축 흑연을 예로 들어보겠습니다. 이 흑연 유형은 등방성 오류가 1% 미만이고 열팽창 특성이 균일합니다. 일반 성형흑연보다 내열충격성이 30% 이상 높고, 내크립성이 압출흑연보다 3~5배 높아 열주기가 잦은 진공로에 이상적인 소재입니다.
흑연 부품 선택을 위해 무턱대고 고급 소재를 추구할 필요는 없습니다. 진공로의 최대 작동 온도에 따른 정확한 재료 선택은 비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라 부품의 내구성을 보장하여 최대의 비용 성능을 달성할 수 있습니다.
작동 온도는 1600℃ 이하입니다:일반 고순도 흑연을 사용하여 기본 응용 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
1600℃ ~ 2000℃의 작동 온도:고순도 세립등방성 흑연내구성과 비용 성능의 균형을 맞춘 적절한 선택입니다.
작동 온도가 2000℃를 초과합니다:가혹한 고온 작동 조건에서 일정한 성능을 보장하려면 등방성 흑연, 열분해 흑연 또는 C/C 복합재를 선택해야 합니다.
흑연 부품에 적절한 표면 처리를 적용하는 것은 산화 및 중간 침식을 효과적으로 방지하고 서비스 수명을 크게 연장할 수 있는 "보호 쉴드"를 추가하는 것과 같습니다. 다음은 흑연 부품에 대한 몇 가지 일반적인 표면 처리 방법입니다.
균일하고 조밀한CVD SiC 코팅흑연 부품의 내산화 온도를 크게 높일 수 있으며 다음과 같은 진공로의 대부분 흑연 부품에 적합합니다.히터, 도가니및 절연 실린더. 이 코팅은 작동 환경에서 산소, 염소, 실리콘 증기와 같은 화학 가스의 침식을 효과적으로 방지할 수 있습니다.
CVD SiC 코팅과 비교하여,탄탈륨 카바이드 코팅더 나은 내식성과 고온 저항성을 가지며 탄화 규소 결정 성장로의 가혹한 적용 시나리오와 같은 초고온 및 극한의 화학적 부식 환경을 견딜 수 있습니다.
일부 내하중 흑연 부품 및 C/C 복합재에는 실리콘 침투 처리가 권장됩니다. 처리 후 부품의 경도, 내마모성 및 크리프 저항성이 크게 향상됩니다. 흑연 부품의 표면 기공을 채우고 가스 방출을 줄이며 기밀성을 향상시키기 위해 수지 함침 또는 열분해 탄소 처리를 채택할 수도 있습니다.