Semicorex C/C 복합 도가니 지지 로드는 CZ(Czochralski) 성장 방법을 통해 단결정 실리콘 제조를 위해 특별히 설계된 중요한 지지 부품으로, 고온 열장에서 C/C 복합 도가니와 내부 용융 실리콘을 안정적으로 지지할 수 있습니다. Semicorex를 선택하고 고품질 단결정 실리콘 성장을 위한 최적의 지원 솔루션을 선택하세요.
C/C 복합 도가니 지지대는 일반적으로 고온 단결정 성장로의 하부 영역에 위치하여 다음과 같은 필수 구성 요소를 사용하여 단결정 실리콘 성장을 위한 효율적이고 안정적인 열장 시스템을 형성합니다.C/C 도가니 홀더, C/C도가니그리고C/C 절연 실린더. 도가니와 내부 용융 실리콘을 안정적으로 지지하고 도가니의 정확한 회전 및 리프팅을 달성하여 단결정 실리콘 성장 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
탄소-탄소 복합재는 탁월한 내열성과 열 안정성을 자랑하므로 Semicorex C/C 복합 도가니 지지대는 1600~2200℃ 범위의 온도에서 안정적으로 작동할 수 있으며 쉽게 갈라지거나 손상되지 않고 급격한 온도 변화에도 견딜 수 있습니다.
탄소-탄소 복합재는 높은 기계적 강도와 탄성률을 가지며, 고온 작동 조건에서 실온에서의 강도를 초과할 수도 있습니다. Semicorex C/C 복합 도가니 지지대가 파손되기 쉽지 않고 도가니의 무게와 내부의 다량의 실리콘 재료를 견딜 수 있는 것은 바로 이러한 신뢰성 있는 특성 때문입니다.
탄소-탄소 복합재이는 기존 흑연 소재보다 밀도가 낮기 때문에 기존 흑연 소재보다 훨씬 가볍습니다. Semicorex C/C 복합 도가니 지지대는 우수한 경량 구조 덕분에 전체 무게를 크게 줄일 수 있어 장비 취급, 교체 및 유지 관리가 편리합니다.
단결정 실리콘 성장 중에 실리콘 증기는 단결정 실리콘 성장로 내부의 구성 요소를 부식시킬 수 있습니다. 탄소-탄소 복합재는 실리콘 증기 부식에 대한 탁월한 저항성을 나타내므로 Semicorex C/C 복합 도가니 지지 로드가 고온 및 실리콘 증기 조건에서 안정적인 구조적 무결성과 일관된 성능을 유지할 수 있습니다.