C/C복합히터

C/C 복합재히터는 일반적으로 결정 성장로 중앙에 위치한 도가니 주위에 위치하며 저항 가열을 통해 도가니 내부의 반도체 재료에 균일한 열을 공급합니다. C/C 복합 히터에 전원이 공급되면 저항 효과로 인해 탄소 섬유와 매트릭스가 열을 생성할 수 있습니다. 이 열은 열전도와 복사를 통해 도가니 안의 반도체 재료로 전달되어 결정이 녹는 데 필요한 온도까지 올라갑니다. 보다 일관되고 효과적인 온도 분포를 보장하기 위해 여러 C/C 복합 히터를 결합하여 대형 결정 성장로를 위한 층형 가열 구조를 만들 수 있습니다.

C/C 복합재히터는 반도체 재료의 균일한 용융을 위한 공정 조건과 결정 성장에 필요한 온도 구배를 정밀하게 제어할 수 있으므로 온도 변동이 결정 품질에 미치는 영향을 크게 줄일 수 있습니다. 따라서 핫존은 고온 결정로 내부에서 균일하고 안정적인 온도 분포를 나타냅니다. 이러한 개선된 온도 분포는 결정의 전기적, 기계적 특성을 크게 최적화하는 고품질, 저결함 단결정 실리콘 제품을 육성하는 데 도움이 됩니다. C/C 복합 히터의 작용으로 반도체 재료의 용융 주기를 효과적으로 단축할 수 있어 결정 성장 속도를 가속화하고 전반적인 생산 효율성을 향상시키는 데 도움이 됩니다.

반도체 결정 성장을 위한 열장 시스템은 C/C 복합 히터와 도가니, 흐름 가이드 튜브, 단열 슬리브 및 도가니 샤프트를 포함한 핵심 구성 요소로 구성됩니다. Semicorex의 C/C 복합 히터를 선택하면 열장 시스템의 향상 및 최적화가 용이해지며, 반도체, 광전지 및 광학 산업과 같은 분야의 고성능 결정 재료에 대한 대규모 응용 요구 사항을 효과적으로 충족할 수 있습니다.