C/C히터

고급 반도체 및 광전지 제조에서는 고품질 결정 구조를 달성하기 위해 정밀한 열 제어가 필수적입니다. Semicorex C/C 히터(카본/카본 메인 히터)는 탁월한 열 균일성과 안정성을 제공하도록 설계되어 고온 결정 성장 시스템의 중요한 구성 요소입니다.

위에 표시된 C/C 히터는 정밀하게 절단된 슬롯이 있는 분할된 링 구조를 특징으로 하며 전류 분배 및 열 복사를 최적화하도록 설계되었습니다. 이 구성은 가열 영역 전체에 걸쳐 매우 균일한 열 생성을 가능하게 하여 열 구배를 효과적으로 최소화하고 일관된 결정 성장 조건을 지원합니다. 이는 온도 정확도가 재료 품질과 수율에 직접적인 영향을 미치는 단결정 실리콘(CZ 방법) 및 다결정 실리콘 생산과 같은 공정에 널리 사용됩니다.

기존 흑연 히터는 반복되는 고온 사이클에 따른 기계적 수명과 열 변형 문제로 어려움을 겪는 경우가 많습니다.C/C 복합재고강도 탄소 섬유로 강화된 는 탁월한 대안을 제공합니다. C/C 히터는 탄소 섬유로 강화된 탄소 매트릭스를 활용하여 뛰어난 구조적 무결성을 유지하는 동시에 실리콘 잉곳 성장 중에 용융-고체 인터페이스를 제어하는 ​​데 필요한 정확한 온도 구배를 제공합니다.

주요 사양:

밀도: ≥1.50g/cm³

열전도율(RT): ≥40W/(m·K)

전기 저항률(RT): 20~30μΩ·m

전기 저항률(고온): 14~20μΩ·m

실리콘 성장의 주요 이점

1. 탁월한 열 균일성

C/C 메인 히터의 주요 기능은 대칭적인 열 분포를 제공하는 것입니다. 단결정 실리콘 성장에서는 온도 구배가 약간만 변동해도 산소 침전 문제나 전위가 발생할 수 있습니다. 당사 히터의 섬유 강화 구조는 열이 도가니 전체에 고르게 방출되어 안정적인 성장 속도를 촉진합니다.

2. 향상된 화학적 순도

오염은 반도체 효율의 적입니다. 당사의 C/C 히터는 회분 함량을 최소(일반적으로 <20ppm)로 유지하기 위해 고온 정화 공정을 거칩니다. 이는 금속 불순물이 실리콘 용융물로 침출되는 것을 방지하여 N형 또는 P형 웨이퍼에 필요한 높은 저항률과 캐리어 수명을 보장합니다.

3. 수명과 비용 효율성

표준 등압 흑연과 비교하여,C/C 복합재훨씬 더 높은 강도 대 중량 비율을 가지고 있습니다. 열충격에 매우 강하고 1500℃가 넘는 온도에서 장기간 사용해도 깨지지 않습니다. 이러한 내구성으로 인해 로 분해 횟수가 줄어들고 제조 시설 운영자의 총 소유 비용이 낮아집니다.

반도체 산업의 응용

주로 Silicon Drawers(CZ Furnaces)의 중앙 가열 요소로 사용되지만 이 C/C 히터는 다음에도 필수적입니다.

폴리실리콘 환원로: 화학 기상 증착 공정에 안정적인 열을 제공합니다.

고온 진공로: 고급 세라믹 재료의 소결 및 어닐링용.