카세트 손잡이

Semicorex 카세트 핸들은 반도체 제조 공정에서 중요한 액세서리로, 다양한 웨이퍼 처리 단계에서 웨이퍼 카세트를 안전하고 효율적으로 처리할 수 있도록 해줍니다. PFA(퍼플루오로알콕시 알칸) 및 PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌)와 같은 고품질 소재로 제작된 이 카세트 핸들은 극도의 청결도, 내화학성 및 열 안정성이 요구되는 환경에서 안전과 성능을 모두 보장하도록 특별히 설계되었습니다.

반도체 제조에서 웨이퍼 카세트는 에칭, 증착, 세정, 열처리 등 다양한 단계를 거치는 웨이퍼를 고정하는 데 사용됩니다. 카세트 핸들은 기술자와 자동화 시스템이 이러한 카세트를 프로세스 간에 안전하게 잡고 운반할 수 있는 기본 인터페이스 역할을 합니다. 카세트가 수동으로 이동하든 로봇 시스템을 통해 이동하든 이러한 핸들을 사용하면 챔버, 오븐 또는 화학조에 안전하게 담글 수 있으므로 중요한 전환 중에 웨이퍼가 손상이나 오염에 노출되지 않습니다.

반도체 처리에는 섬세한 웨이퍼와 공격적인 화학 물질이 포함되는 경우가 많기 때문에 카세트 핸들의 품질과 디자인은 전체 제조 작업 흐름의 무결성을 유지하는 데 중추적인 역할을 합니다.

재료 특성: PFA 및 PTFE

카세트 핸들의 재료 선택은 극한 조건에서의 성능을 좌우하는 핵심입니다. PFA와 PTFE는 모두 불소수지로서 우수한 내화학성과 열 안정성으로 알려져 있어 반도체 환경에 이상적입니다.

PFA(퍼플루오로알콕시 알칸): 이 소재는 유연성과 내구성이 널리 알려져 있습니다. PFA는 성능 저하 없이 최대 260°C(500°F)의 온도를 견딜 수 있어 고온 처리 챔버에 사용하기에 적합합니다. 또한 붙지 않는 특성으로 인해 재료가 표면에 달라붙는 것을 방지하여 오염 위험을 더욱 줄여줍니다. 또한 PFA의 화학적 불활성으로 인해 반도체 제조에 일반적으로 사용되는 강산, 알칼리 및 유기 용매에 대한 내성이 있습니다.

PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌): 낮은 마찰 계수와 탁월한 비반응성으로 잘 알려진 PTFE는 카세트 핸들을 위한 또 다른 탁월한 소재입니다. PTFE는 부식에 대한 저항력이 뛰어나며 최대 260°C의 온도를 견딜 수 있습니다. 화학적 공격에 대한 높은 저항성은 부식성 화학 물질이 있거나 장기간 담가두는 경우에도 안정적이고 효과적인 상태를 유지합니다. PTFE의 매끄러운 표면과 낮은 마찰 특성은 웨이퍼 카세트를 쉽고 안전하게 취급하는 데에도 기여합니다.

두 재료 모두 우수한 청정도 수준을 제공하며 이는 반도체 클린룸 환경에서 입자 오염을 방지하는 데 필수적입니다.

Semicorex Cassette 핸들은 반도체 제조 공정의 작은 구성 요소이지만 웨이퍼 카세트를 안전하고 효율적이며 오염 없이 처리하는 데 중요한 역할을 합니다. PFA 및 PTFE와 같은 고성능 소재로 제작된 이 핸들은 뛰어난 내화학성, 열 안정성 및 내구성을 제공합니다. 고품질 카세트 핸들을 선택함으로써 반도체 제조업체는 작업 흐름을 최적화하고 오염 위험을 줄이며 작업자와 장비 모두의 안전을 보장할 수 있습니다.