도가니 지지 트레이

고온 반도체 제조에서는 일관된 결정 품질을 보장하기 위해 안정성과 정밀도가 중요합니다. Semicorex Crucible Support Tray는 극한의 열 및 기계적 조건에서 신뢰할 수 있는 기반을 제공함으로써 결정 성장 공정의 무결성을 유지하는 데 중요하지만 종종 간과되는 역할을 합니다.

Crucible Support Tray라고도 알려져 있습니다.탄소/탄소(C/C)도가니 홀더는 단결정 실리콘 성장 중에 석영 또는 흑연 도가니를 지지하도록 특별히 설계되었습니다. 열장의 바닥에 위치한 이 구성 요소는 구조적 무결성과 치수 안정성을 유지하면서 고온에 장기간 노출을 견뎌야 합니다. 견고한 설계 덕분에 공정 전반에 걸쳐 도가니가 안전하게 위치를 유지하여 결정 품질에 부정적인 영향을 미칠 수 있는 진동, 변형 또는 정렬 불량을 최소화할 수 있습니다.

C/C Support Tray의 역할

단결정 실리콘이 성장하는 동안 온도는 종종 1400°C를 초과합니다. 전통적인 흑연 재료는 유용하기는 하지만 용융된 실리콘의 무거운 무게로 인해 수명 및 변형과 관련된 문제에 직면하는 경우가 많습니다. 당사의 C/C 복합 도가니 지지 트레이는 이러한 문제점을 해결합니다.

고강도 탄소 섬유 강화 매트릭스를 활용하여 이 트레이는 "0에 가까운" 열팽창 프로파일과 뛰어난 내하중 용량을 제공합니다. 이는 도가니와 회전 샤프트 사이의 인터페이스 역할을 하며 용융 난류 및 결정 결함을 방지하기 위해 완벽한 수평 평면을 유지합니다.

기술 사양 및 소재 우수성

밀도: ≥ 1.3g/cm³

굴곡 강도: ≥ 110 MPa

열팽창 계수(CTE): ≤ 1.0 × 10⁻⁶ /K

압축 강도:  ≥ 160MPa