유리 같은 탄소 코팅 경질 펠트

Glass-like Carbon Coated Rigid Felt의 주요 장점 중 하나는 탁월한 내열성입니다. 유리 같은 탄소 코팅을 통해 이 소재는 불활성 대기에서 최대 2000°C의 온도를 견딜 수 있어 고온 반도체 공정에 이상적으로 적합합니다. 이 기능은 코팅의 낮은 열 팽창과 높은 열충격 저항으로 보완되어 급격한 온도 변화 중에 탄소 섬유 경질 펠트 기판이 손상되지 않도록 보호합니다. 이러한 특성은 민감한 부품의 무결성을 유지하기 위해 일관된 열 관리가 필수적인 반도체 제조에 매우 중요합니다.

유리 같은 탄소 코팅은 또한 탄소 섬유의 견고한 펠트에 뛰어난 내화학성과 내식성을 부여합니다. 이러한 저항성은 재료가 공격적인 화학 물질 및 부식제에 노출되는 환경에서 안정적이고 효과적인 상태를 유지하도록 보장합니다. 가스 및 액체에 대한 코팅의 불투수성은 기판을 더욱 보호하여 성능을 저하시킬 수 있는 침투를 방지합니다. 이러한 특성으로 인해 Glass-like Carbon Coated Rigid Felt는 가혹한 화학 공정에 노출되는 경우가 많은 반도체 제조에 특히 유용합니다.

고순도는 유리 같은 탄소 코팅이 제공하는 또 다른 중요한 이점입니다. 달성 가능한 순도 수준이 99.99999%에 달하는 이 코팅은 반도체 클린룸 환경에서 중요한 고려 사항인 입자 생성을 최소화합니다. 입자 방출이 감소하면 오염을 방지하여 반도체 장치의 신뢰성과 수율을 향상시킬 수 있습니다. 모든 방향에서 균일한 특성을 보장하는 재료의 등방성 구조와 결합된 이러한 순도는 다양한 응용 분야에서 유리 유사 탄소 코팅 강성 펠트의 일관된 성능에 기여합니다.

유리 같은 탄소 코팅의 전기 및 열 전도성은 견고한 펠트의 다양성을 더욱 향상시킵니다. 이러한 전도성 특성은 효율적인 열 및 전류 관리를 가능하게 하며 히터 및 기타 열 처리 장비와 같은 응용 분야를 지원합니다. 효과적인 열 및 전기적 성능을 촉진함으로써 Glass-like Carbon Coated Rigid Felt는 정밀도가 가장 중요한 복잡한 반도체 시스템에서 없어서는 안 될 자산이 됩니다.

반도체 산업에서 Glass-like Carbon Coated Rigid Felt의 응용 분야는 광범위하고 다양합니다. 이는 내화학성과 열 성능이 중요한 플라즈마 에칭 및 CVD(화학 기상 증착) 도구의 구성 요소에 이상적인 소재입니다. 또한 이 재료는 분석 장비의 효과적인 스퍼터링 타겟 및 샘플 홀더 역할을 하며 높은 순도와 안정성이 정확한 결과를 보장합니다. 이러한 다용성은 유리 제조 공정용 지그에서의 사용까지 확장되어 내열성과 불투수성을 활용하여 유리 재료의 성형 및 성형 성능을 최적화합니다.

반도체 영역을 넘어 유리 유사 탄소 코팅의 이점은 다른 첨단 기술 응용 분야에도 영향을 미칩니다. 내열성과 화학적 불활성으로 인해 온도와 화학적 상호 작용에 대한 정밀한 제어가 필요한 히터 및 열 분석 장비에 사용하기에 적합합니다. 극한의 조건에서도 성능을 유지하는 이 소재의 능력은 광범위한 산업 응용 분야에서 신뢰할 수 있는 구성 요소로 남아 있음을 보장합니다.

다공성 유리질 탄소의 SEM 이미지