흑연 척

Semicorex 흑연 척은 설계되었습니다특수 흑연, 뛰어난 열 및 화학 저항성을 인정했습니다. 화학 물질과 가열에 대한 매우 높은 저항성으로 알려져 있기 때문에 그 형태의 흑연에서 구체적으로 설계된 흑연 척의 독특한 예. 이로 인해 척은 매우 오래 지속되며 화학 증기 증착 (CVD) 또는 플라즈마 에칭 또는 고온 용광로에서 사용하는 가장 어려운 조건에서 수행됩니다. 따라서, 불순물이 매우 낮은 고순도는 이미 폴리 실리콘을 생산하는 동안 오염을 일으키지 않을 것임을 의미합니다. 그들은 온도가 증가함에 따라 매우 안정적이기 때문에 눈에 띄는 변형없이 2000 ° C 이상의 온도를 베어링 할 수 있습니다. 또한, 이들은 또한 대부분의 화학 물질에 대한 저항성을 가지므로 염산 (HCL) 또는 사트라 클로라이드 (SICL4)와 같이 매우 어려운 조건에서 생존 할 것입니다. 높은 기계적 강도는 아직 척이 연속 하중에 노출 된 경우에도 형태를 유지할 수 있음을 의미합니다.

흑연 척은 웨이퍼 처리 및 결정의 성장에 중요합니다. 그들은 화학 증기 증착 (CVD)과 같은 모든 단계에서 모든 제조에서 균일 한 실리콘 증착을 보장하는 데 주요한 역할을합니다. 슬라이스 및 연마 중에는 웨이퍼 절단 및 표면 마감에 대한 안정적인 지원을 제공합니다. 열 가공에서, 그들은 실리콘 웨이퍼 어닐링 및 도핑 공정을위한 열 내성베이스 역할을하여 생산 라인의 효율과 품질을 크게 향상시킨다.

우리의 성능의 균일 성을 어떻게 보장합니까?석묵?

첫째, 탄화. 우리 용광로에는 115 입방 미터가 있습니다. 우리의 기술 팀은 각 용광로의 다른 영역에서 흑연 제품의 온도 필드를 테스트합니다. 저온 상태 (0-200 °)에서 온도가 상승하기 시작하면 약 ± 10 °에서 제어하고 고온 상태 (600 ° 이상)에서 ± 1 °로 제어합니다. 우리는 다른 흑연 사이의 온도 장을 테스트 할뿐만 아니라 각 흑연 물질의 각 조각의 표면과 내부 온도를 테스트하고 ± 3 °에서 제어 할 것입니다. 탄화 용광로의 각 용광로에서 8 온도 포인트를 테스트합니다.

두 번째는 흑연입니다. 예를 들어 500kg을 복용하면 8 온도 포인트도 테스트합니다. 샘플은 파괴적인 테스트를 위해 흑연 제품의 임의의 위치에서 무작위로 검사됩니다. 파괴 후 24 포인트가 테스트됩니다. 균일 성을 보장하기 위해 테스트는 XYZ 축과 별도로 수행됩니다. 업계의 대부분의 회사는 X 축 또는 최대 XY 축 만 테스트합니다.

일반 제조업체는 6-8 포인트 만 테스트하고 더 나은 제품은 12 점을 테스트하고 24 점을 테스트합니다.

Semicorex 흑연 척은 고성능, 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 툴링을 원하는 폴리 실리콘 제조업체에게 없어서는 안될 솔루션입니다. 고급 재료 특성 및 정밀 엔지니어링을 통해 제품은 태양 광 산업에서 실리콘 웨이퍼 생산의 효율성과 품질을 향상시킵니다. 자세한 내용이나 사용자 정의 사양은 오늘 당사에 문의하십시오.