흑연 도가니

Semicorex 흑연 도덕은 특히 결정 성장 단계에서 반도체 제조 공정에서 중요한 구성 요소이다. 이 고성능 컨테이너는 Czochralski (CZ) 프로세스 또는 플로트 구역 (FZ) 기술과 같은 방법을 통해 고순도 실리콘 또는 화합물 반도체 결정을 생성하는 데 필요한 극한 조건을 견딜 수 있도록 설계됩니다.

흑연 도가니의 주요 기능은 일반적으로 2000 ° C 이상의 매우 높은 온도를 견딜 수 있고지지하는 것인데, 여기서 실리콘 카바이드 및 질화 질화물과 같은 3 세대 반도체 재료는 자주 합성됩니다. 고순도 흑연으로 만든 도가니는 어떤 형태의 분해 나 변태없이 이러한 극한 수준에서 물리적 및 화학 상태를 유지하는 고온에 대한 우수한 저항을 나타냅니다. 흑연 십자에 의한 우수한 열 전도는 열 균일하게 열을 전도 할뿐만 아니라 안정적인 온도 필드를 설정한다는 것을 의미합니다. 균일 한 온도 분포는 다소 동등한 조건 하에서 성장 재료를 허용하여 결정 결함을 감소시키고 품질 반도체 결정을 허용하기 때문에 용융 및 결정화 공정에서 결정적으로 작용합니다.

실리콘 카바이드 또는 질화물 결정 성장 공정 (예 : 증기 상 에피 택시 CVD 또는 물리 증기 수송 PVT)에서 흑연 도가약은 원료를 보유하고 제어 된 성장 환경을 제공하는 데 사용됩니다. 도가니의 화학적 불활성은 고온에서 반도체 재료와 화학적으로 반응하지 않도록하여 재료의 높은 순도를 유지합니다. 동시에, 흑연 도가니의 우수한 열 전도도는 균일 한 온도 구배를 형성하는 데 도움이되며, 결정 성장에 이상적인 조건을 제공하고 불순물 및 구조적 결함을 감소시킵니다.

흑연 도가니의 화학적 불활성은 반도체 재료의 정제에 중요한 특징입니다. 고급 흑연 재료는 외부 오염을 분리하고 불순물이 용융 반도체 재료로 들어가는 것을 방지 할 수 있습니다. 흑연 도가니의 표면은 또한 산화 저항성 및 부식 저항을 향상시키기 위해 (실리콘 카바이드 코팅과 같은) 코팅 될 수 있으며, 생산 공정의 높은 순도와 높은 안정성을 더욱 보장합니다.