흑연 전극

Semicorex 흑연 전극은 전기 전도성, 열 안정성 및 치수 정확도가 가장 중요한 반도체 열 응용 분야에 사용하기 위한 고순도, 정밀 제조 흑연 구성 요소입니다. 실제로 이러한 유형의 전극은 고온 용광로, 에피택시 반응기 및 열 처리 챔버에 사용되어 공격적인 온도 및 대기 조건에서 안정적인 전류 전도, 열 전달 및 안정성을 촉진합니다. Semicorex 흑연 전극의 극도의 순도, 고체 구조의 균일성 및 높은 기계적 특성으로 인해 까다로운 반도체 응용 분야의 가열 요소로서 안정적인 열 성능을 제공할 수 있습니다.

흑연 전극은 고품질의 미세한 흑연 재료로 제조되며 각각은 압출, 고온 탄화 및 흑연화의 고급 순서를 사용하여 만들어집니다. 흑연 미세 구조는 거의 일정한 전기 저항률, 높은 열 전도성 및 기계적 안정성을 위해 설계되었습니다. 최종 제품은 급격한 온도 변동은 물론 고전력 환경에서도 물리적 상태와 전류의 균일한 분포를 유지하는 고순도 열전도체입니다.

흑연 재료석묵

우리의 흑연은 우수한 성능 균일성을 보장합니다. 첫째, 탄화 과정에서 당사의 용광로는 115입방미터에 불과합니다. 우리 기술팀은 각 용해로의 다양한 영역에서 흑연 제품의 온도 영역을 모니터링합니다. 초기 저온 단계(0~200°C)에서는 ±10°C 이내, 고온(600°C 이상)에서는 ±1°C 이내로 온도를 관리합니다. 우리는 서로 다른 흑연 입자 사이의 온도장뿐만 아니라 각 개별 흑연 조각의 표면 및 내부 온도도 모니터링하여 ±3°C 이내로 제어합니다. 우리는 각 탄화로에서 8개의 온도 지점을 모니터링합니다.

둘째, 흑연화 공정 중에 500kg 배치를 예로 들어 8개의 온도 지점도 모니터링합니다. 흑연화 후 균일성을 보장하기 위해 X, Y, Z 축을 따라 24개 지점을 무작위로 샘플링하고 파괴 테스트합니다. 업계 대부분의 회사는 X축 또는 최대 XY축만 테스트하며 일반적인 제조업체는 6~8개 지점만 테스트하고 더 나은 제조업체는 12개 지점을 테스트합니다. 우리는 24점을 테스트합니다.

반도체 열장에서 흑연 전극은 가열 어셈블리의 중요한 부분으로, 전류를 가열 영역으로 전달하고 산화, 확산, LPCVD 또는 에피택시와 같은 특정 공정 전반에 걸쳐 온도 분포를 제어할 수 있습니다. 흑연 전극은 2000°C를 초과하는 온도에서 안정적인 작동 역할을 수행해야 하며 가열 현장의 산화, 뒤틀림 또는 오염을 방지하면서 그렇게 해야 합니다.

Semicorex 흑연 전극은 뛰어난 전기 전도성을 갖고 있어 최소한의 손실로 효과적인 전력 전달을 촉진하며, 뛰어난 열 전도성을 보유하여 용광로 내에서 빠르고 균일한 열 전달이 가능합니다. 낮은 열팽창과 높은 기계적 강도가 결합되어 열 순환 중 변형과 균열이 줄어들고, 오랜 사용 수명 동안 안정적인 동작을 제공합니다. 각 전극은 엄격한 치수 공차와 미세한 표면 마감으로 가공되어 접촉 표면에서 일관된 접촉과 무시할 수 있는 전기 저항을 보장합니다.

Semicorex는 반도체 공정의 특정 요구 사항을 염두에 두고 모든 용광로 구성 및 전력 사양에 맞는 맞춤형 전극 설계를 설계할 수 있습니다. 다양한 직경, 길이, 연결 유형 또는 표면 마감을 사용할 수 있습니다. 필요한 경우 SiC 또는 열분해 탄소와 같은 코팅 재료를 적용하여 고산소 또는 반응성 가스 환경에서 내산화성과 수명을 지원할 수 있습니다.

순도가 높아흑연 재료놀라울 정도로 낮은 수준의 금속 불순물(및 기체 불순물), 종종 99.999% 이상의 탄소를 보장합니다. 이러한 낮은 수준의 불순물은 열 처리 중에 반도체 웨이퍼가 오염되는 것을 방지하는 데 도움이 됩니다. 상당한 가공 깊이와 광택 표면 마감이 결합된 Semicorex 흑연 전극은 최첨단 웨이퍼 제조 기술의 기계적 및 화학적 안정성을 모두 충족합니다.

확산로, 에피택셜 반응기 또는 고온 처리 장비에 사용되는 Semicorex 흑연 전극은 가장 까다로운 열 환경에서 탁월한 성능을 제공합니다. Semicorex는 고순도, 정밀한 기하학적 구조 및 고급 재료 처리를 결합하여 차세대 반도체 제조에 필수적인 안정적인 전류 전도, 일관된 가열 및 장기적인 작동 신뢰성을 보장하는 전극 솔루션을 제공합니다.