핫존용 흑연 히터

균일한 온도 분포:Hot Zone용 흑연 히터는 세심한 재료 가공과 정밀 가공을 결합하여 달성된 균일한 가열 특성으로 유명합니다. 이러한 균질성은 전체 가열 표면에 걸쳐 일관된 온도 프로파일을 보장하여 고르지 않은 웨이퍼 처리, 수율 감소 및 일관되지 않은 장치 성능으로 이어질 수 있는 열 구배를 최소화합니다.

탁월한 내식성:핫 존용 흑연 히터는 고온 반도체 공정에서 흔히 발생하는 다양한 부식성 가스 및 화학 물질에 대한 뛰어난 저항성을 보여줍니다. 이러한 고유한 비활성은 장기적인 히터 안정성과 성능을 보장하여 오염 위험을 최소화하고 작동 수명을 연장합니다.

우수한 산화 저항:기존의 흑연과 달리 Hot Zone용 흑연 히터는 고온에서도 산화에 대한 탁월한 저항성을 제공합니다. 이 특성은 히터 무결성을 유지하고 처리 챔버 내에서 미립자 오염의 형성을 방지하는 데 중요합니다.

매우 높은 화학적 순도:핫 존용 흑연 히터는 초고순도 수준을 달성하도록 처리되어 반도체 처리 환경에 원치 않는 오염 물질이 유입될 위험을 최소화합니다. 이러한 탁월한 순도는 섬세한 반도체 재료의 무결성을 유지하고 제조된 장치의 원하는 전기적 및 광학적 특성을 보장하는 데 필수적입니다.

높은 기계적 강도와 안정성:Hot Zone용 Graphite Heater는 고온에서 탁월한 기계적 강도와 치수 안정성을 갖추고 있어 열 주기 및 기계적 응력을 포함한 고온 작동의 가혹한 조건을 견딜 수 있는 견고한 히터 부품을 제작할 수 있습니다.