흑연 씨앗 덩어리

재료 특성석묵씨앗 덩어리

기능 및 구조 소개

Semicorex Graphite Seed Chunk는 화학 기상 증착(CVD) 공정 중에 실리콘 로드를 위한 장착 및 지지 구조 역할을 합니다. 이러한 응용 분야에서는 삼염화실란(TCS)과 같은 고도로 정제된 실란 가스가 도입되고 실리콘 막대가 있는 상태에서 가열됩니다. 전기적으로 가열된 막대는 흑연 전극이라고도 불리는 흑연 시드 덩어리에 의해 반응기 내에서 단단히 고정됩니다.

고강도 및 미립자 구성

의 결정적인 특징은석묵씨앗 덩어리는 미세한 입자 구조와 놀라운 강도를 자랑합니다. 이 특성은 청크가 반도체 제조 공정의 일반적인 고온 조건에서 발생하는 기계적 응력을 견딜 수 있도록 보장합니다. 견고한 구조는 신뢰할 수 있는 지원 시스템을 제공하여 증착 공정 전반에 걸쳐 실리콘 로드의 무결성을 유지합니다.

열적 특성 및 효율성

흑연 시드 덩어리는 열 관성이 최소화되어 급속 가열과 효율적인 고온 저항이 가능하다는 점이 특징입니다. 뛰어난 열충격 저항성을 보여 구조적 무결성을 손상시키지 않으면서 급격한 온도 변화를 견딜 수 있습니다. 또한, 넓은 방열 면적과 높은 가열 효율로 인해 안정적인 성능을 제공하므로 고온 응용 분야에 없어서는 안 될 요소입니다.

전기 및 열 전도성

열적 특성 외에도석묵Seed Chunk는 뛰어난 전기 및 열 전도성을 제공합니다. 이러한 특성은 단결정 용해로의 일관된 작동에 중요한 효과적인 열 분배 및 전기적 성능을 촉진합니다. 전기를 효율적으로 전도하는 덩어리의 능력은 실리콘 막대가 균일하게 가열되도록 보장하며, 이는 고품질 폴리실리콘을 만드는 데 중요한 요소입니다.

내식성 및 회분 함량

석묵 Seed Chunk는 뛰어난 내식성으로도 알려져 있어 가혹한 화학적 환경에서도 안정적으로 작동할 수 있습니다. 일반적으로 5ppm(백만분율)의 낮은 회분 함량으로 민감한 반도체 공정에서 오염 위험을 최소화합니다. 이러한 순도는 전자급 폴리실리콘의 품질을 유지하는 데 필수적입니다.

가공의 다양성

석묵 Seed Chunk의 재료 다양성으로 인해 다양한 응용 요구 사항에 맞춰 다양한 모양으로 가공할 수 있습니다. 이러한 적응성은 다양한 제조 설정의 특정 요구 사항을 충족할 수 있도록 보장하여 반도체 산업에서의 유용성을 향상시킵니다.

응용석묵씨앗 덩어리

반도체 제조에서의 역할

흑연 시드 덩어리는 반도체 제조 산업, 특히 단결정 실리콘 생산에 필수적입니다. 이는 CVD 공정에서 실리콘 로드를 지지하고 가열하는 능력이 중요한 단결정 용해로에 사용됩니다. 이 애플리케이션을 사용하면 반도체 장치 제조에 필수적인 고품질 전자급 폴리실리콘을 생산할 수 있습니다.

폴리실리콘 생산 강화

흑연 종자 덩어리는 실리콘 막대에 안정적이고 효율적인 가열을 제공함으로써 폴리실리콘 생산을 크게 향상시킵니다. 우수한 열적, 전기적 특성은 일관된 품질과 높은 수율을 보장하며 이는 현대 전자 제품 제조의 요구 사항을 충족하는 데 중요합니다.

다양한 산업 공정에 대한 적응성

그만큼석묵Seed Chunk는 다양한 구성으로 성형할 수 있어 반도체 제조를 넘어 다양한 산업 공정에 적합합니다. 다용성과 견고성으로 인해 고온 안정성과 효율적인 열 관리가 필요한 모든 응용 분야에서 자산이 됩니다.