수평 웨이퍼 카세트

재료 특성

Semicorex 수평형 웨이퍼 카세트는 다양한 생산 단계에서 웨이퍼를 보호하고 처리하기 위한 반도체 산업의 필수 도구입니다. 종종 웨이퍼 캐리어라고 불리는 이 카세트는 동일한 크기의 여러 웨이퍼를 고정하고 이동하도록 설계되었습니다. 이는 열처리와 같은 특정 공정 요구 사항을 충족하여 다양한 생산 조건에서 탁월한 성능을 보장하며 다양한 재료로 제공됩니다.

다양한 재료 선택

수평형 웨이퍼 카세트는 반도체 제조의 다양한 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 고성능 재료로 제공됩니다. 이는 뛰어난 내화학성과 열 안정성을 제공하며 PVDF, ECTFE Halar, PFA Teflon 및 PTFE Teflon을 포함합니다. 향상된 기계적 강도와 내부식성이 필요한 응용 분야에는 304L 및 316과 같은 스테인리스강 옵션을 권장합니다. 경제적이고 가벼운 특성으로 인해 천연 폴리프로필렌도 사용되며, 이는 웨이퍼 처리 절차의 무결성을 유지하면서 응용 분야의 유연성을 허용합니다.

고급 디자인의 특징

특정 작동 요구 사항을 충족하도록 조정될 수 있는 특성을 갖춘 수평 웨이퍼 카세트는 공들여 제작되었습니다. 이는 측면 개구부 프로필, 기판 접점, 기판 피치 및 간격, 변경 가능한 크기 및 모양으로 구성됩니다. 다양한 공정에서의 적응성은 기판 방향의 다양성과 다양한 기판 크기를 처리할 수 있는 능력으로 인해 증가합니다. 또한 편의성을 높이기 위한 탈부착식 핸들 등 자동화 기능과 카세트 핸들링 기능을 추가할 수 있습니다.

응용

반도체 제조에서는 다양한 절차에서 웨이퍼를 안전하고 효과적으로 처리하기 위해 수평형 웨이퍼 카세트를 사용하는 것이 필수적입니다.

수평형 웨이퍼 카세트는 견고한 고품질 재료로 만들어지며 반도체 환경의 두 가지 주요 문제인 물리적 손상과 오염에 대해 강력한 보호 기능을 제공합니다. 카세트의 구조는 오염 물질에 대한 노출을 줄여 보관 및 운송 중에 깨지기 쉬운 웨이퍼를 보호합니다.

향상된 세척 및 건조

수평 웨이퍼 카세트 설계의 넓은 개방 면적 덕분에 더 나은 세척 및 건조 결과가 가능해졌습니다. 이러한 특성은 웨이퍼 청결도를 유지하는 데 매우 중요하며, 이는 결함 가능성을 낮추고 완성된 반도체 장치의 성능을 향상시킵니다.

화학 흐름 및 처리의 효율성

재료 트랩 지점을 최소화하고 화학적 흐름을 통한 역학을 최대화하기 위해 수평 웨이퍼 카세트가 설계되었습니다. 화학물질 흐름을 개선하고 화학조에서 완전한 적용 범위와 효율적인 처리를 보장하기 위해 다양한 추가 기능을 추가할 수 있습니다.

안전한 웨이퍼 운송 및 정렬

수평형 웨이퍼 카세트 설계는 정밀한 웨이퍼 정렬이 특징이며, 이는 운송 중에 웨이퍼가 제 위치에 단단히 유지되도록 보장합니다. 이렇게 하면 파손이나 정렬 불량의 가능성이 낮아져 비용이 많이 드는 결함이나 프로세스 지연이 발생할 수 있습니다. 반도체 제조 공정의 무결성을 유지하려면 웨이퍼 핸들링을 안전하게 수행해야 합니다.

작업흐름과 인체공학적 효율성

수평형 웨이퍼 카세트는 인체공학적 설계로 인해 사용하기 쉽고 효율적이며 로딩 및 언로딩 절차를 간소화합니다. 클린룸 환경에서는 이러한 사용 편의성으로 작업 흐름 효율성이 향상되어 보다 효율적인 프로세스가 가능하고 처리 시간이 단축됩니다. 반도체 제조업체는 이러한 절차를 단순화하여 효율성을 높이고 엄격한 청결도 표준을 유지할 수 있습니다.