내부 가이드 튜브

Semicorex 내부 가이드 튜브는 정밀하게 설계된탄소/탄소(C/C) 성분특히 고순도 실리콘 결정의 성장과 같은 고급 고온 열장 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 결정 성장로 내의 핵심 요소인 이 구성 요소는 열 구배를 형성하고 안정화하는 데 중심 역할을 하여 최적의 결정 형성과 일관된 재료 품질을 보장합니다.

고밀도 탄소 섬유 강화 탄소 복합재로 제조된 내부 가이드 튜브는 극한 조건에서도 탁월한 구조적 무결성과 열 안정성을 제공합니다. 밀도가 1.35g/cm3 이상이고 굴곡 강도가 110MPa 이상인 이 제품은 고온에 장기간 노출되는 경우에도 기계적 견고성을 유지합니다. 이러한 특성은 반도체급 실리콘 생산에 필수적이며, 열 조건의 사소한 변동이라도 결정 균일성과 결함률에 큰 영향을 미칠 수 있습니다.

핵심 기능: 정밀 기울기 제어

C/C 내부 가이드 튜브의 주요 역할은 정확한 온도 변화도 장을 구성하는 것입니다. 실리콘 결정 성장 공정 중에 결정은 용융물 바로 위에 위치하여 다음을 수행합니다.

직접 가스 흐름: 불활성 아르곤 가스의 흐름을 안내하여 산화규소(SiO) 증기가 용융 표면에서 효율적으로 제거되도록 하여 결정의 산소 오염을 방지합니다.

열 차폐: 도가니 벽의 직접적인 열 복사로부터 성장하는 결정을 보호하여 고속, 고품질 결정 끌어당김에 필요한 가파른 축 온도 구배를 설정합니다.

에너지 효율성: 용융 영역 내에 열을 집중시키고 상부 용광로 구성 요소를 단열함으로써 총 전력 소비를 크게 줄입니다.

기술 사양 및 소재 우수성

우리의 내부 가이드 튜브는 고밀도를 사용하여 제조됩니다탄소/탄소 복합재, 기존 흑연에 대한 우수한 대안을 제공합니다. 재료 특성은 반도체 진공로의 극한 조건에 최적화되어 있습니다.

밀도: ≥ 1.35g/cm³

굴곡 강도: ≥ 110 MPa

열팽창 계수(CTE): ≤ 1.0 × 10⁻⁶ /K

열전도율(실온): ≤ 10 W/(m·K)

산업

업계가 더 큰 웨이퍼 크기(300mm 및 450mm)로 이동함에 따라 열 분야에 대한 요구가 기하급수적으로 증가합니다. 당사의 내부 가이드 튜브는 주요 CZ 퍼니스 브랜드와 호환되며 형상 및 코팅 측면에서 맞춤화가 가능합니다.