고순도 흑연 구성 요소로 제작된 Semicorex 이온 주입 부품은 특히 이온 주입 장비에 사용하기 위해 반도체 제조의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이러한 구성 요소는 고성능 애플리케이션에 이상적으로 만드는 몇 가지 중요한 이점을 자랑합니다. Semicorex는 고성능 이온 주입 부품 제조 및 공급에 전념하고 있습니다. 품질과 비용 효율성을 융합한 제품입니다.
뛰어난 내열성 및 전도성: Semicorex 이온 주입 부품은 뛰어난 내열성과 전도성을 보여줍니다. 이는 극한의 온도에서도 안정적인 성능을 보장하며, 이는 이온 주입 공정의 안정성과 효율성을 유지하는 데 필수적입니다.
탁월한 화학적 안정성: 고순도 흑연으로 가공된 당사의 이온 주입 부품은 이온 빔에 노출될 때 부식이 최소화되어 불순물 함량이 크게 감소합니다. 이러한 높은 수준의 화학적 안정성은 반도체 제조에서 일반적으로 직면하는 열악한 환경에서도 부품의 수명과 신뢰성을 보장합니다.
다양한 적용 범위: 당사의 이온 주입 부품 또는 고순도 흑연 구성 요소는 다재다능하며 이온 주입 장비의 다양한 중요 부품에 활용될 수 있습니다. 여기에는 비행 튜브, 슬릿, 전극, 전극 커버, 도관 및 빔 터미네이터가 포함됩니다. 이온 주입 부품은 정확한 산업 표준을 충족하도록 설계되어 최적의 성능과 일관성을 보장합니다.
Semicorex 이온 주입 부품은 비교할 수 없는 품질과 신뢰성이 뛰어나 이온 주입 장비가 최고의 효율성으로 작동하도록 보장합니다.