SIC 단결정 성장에서 TAC 코팅의 장점

현재 실리콘 카바이드는 3 세대의 반도체를 지배하고 있습니다. 실리콘 카바이드 장치의 비용 구조에서 기판은 47%를 차지하고 에피 택시는 23%를 기여합니다. 이 두 구성 요소는 함께 전체 제조 비용의 약 70%를 차지하므로 실리콘 카바이드 장치 생산 체인에 중요합니다. 결과적으로, 실리콘 카바이드 단결정의 수율을 개선하여 기판 비용을 줄이는 것은 SIC 장치 생산에서 가장 중요한 과제 중 하나가되었습니다.

고품질의 고수익을 준비합니다실리콘 카바이드 기판생산 온도를 정확하게 제어하기 위해 더 나은 열 전계 재료가 필요합니다. 현재 사용중인 열 필드 도가니 키트는 주로 고급 흑연 구조로 구성되며, 온도를 유지하면서 용융 탄소 및 실리콘 파우더를 가열하는 데 사용됩니다. 흑연 물질은 높은 특이 적 강도 및 계수, 우수한 열 충격 저항 및 우수한 내식성을 나타내지 만, 또한 주목할만한 단점이 있습니다. 고온 산소 환경에서 산화가 발생하기 쉬우 며 암모니아를 잘 견딜 수 없으며 긁힘 저항성이 좋지 않습니다. 이러한 한계는 실리콘 카바이드 단결정의 성장과 실리콘 카바이드 에피 택셜 웨이퍼의 생산을 방해하여 흑연 물질의 발달 및 실제 적용을 제한합니다. 결과적으로, 탄탈 룸 카바이드와 같은 고온 코팅은 견인력을 얻고 있습니다.

탄탈 룸 탄화물 코팅 성분의 장점

활용탄탈 룸 카바이드 (TAC) 코팅결정 가장자리 결함과 관련된 문제를 해결하고 결정 성장의 품질을 향상시킬 수 있습니다. 이 접근법은 "더 빠르고 두껍고 길게 성장하는"핵심 기술 목표와 일치합니다. 산업 연구에 따르면 탄탈 룸 카바이드 코팅 된 흑연 도가니 도가니아 도가니 도가족은보다 균일 한 가열을 달성 할 수 있으며, SIC 단결정 성장에 대한 우수한 공정 제어를 제공하고 SIC 결정의 가장자리에서 다결정 형성 가능성을 크게 감소시킵니다. 또한,탄탈 룸 카바이드 코팅두 가지 주요 이점을 제공합니다.

1. SIC 결함 감소

SIC 단결정의 결함을 제어하기위한 세 가지 주요 전략이 있습니다. 성장 파라미터를 최적화하고 고품질 소스 재료 (예 : SIC 소스 파우더)를 사용하는 것 외에도 탄탈 룸 탄소 코팅 흑연 도가약으로 전환하면 더 나은 결정 품질을 촉진 할 수 있습니다.

2. 흑연 도가니의 수명을 촉구합니다

SIC 결정의 비용은 여전히 ​​높았다. 흑연 소모품은이 비용의 약 30%를 차지합니다. 흑연 구성 요소의 서비스 수명을 높이는 것은 비용 절감에 중요합니다. 영국 연구팀의 데이터에 따르면 탄탈 룸 카바이드 코팅은 흑연 구성 요소의 서비스 수명을 30-50%연장 할 수 있다고합니다. 이 정보를 바탕으로 전통적인 흑연을 탄탈 룸 카바이드 코팅 흑연으로 대체하면 SIC 결정 비용이 9%-15%감소 할 수 있습니다.

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