전도성 코팅 된 흑연 히터

그만큼전도성 코팅 된 흑연 히터고온 반도체 처리 및 기타 진공 열 시스템을 위해 설계된 신제품입니다. 고순도 흑연의 우수한 열 안정성과 실리콘 카바이드 (SIC) 코팅의 우수한 표면 특성을 사용합니다. 전도성 코팅 된 흑연 히터는 표면 전도성을 크게 향상시키는 질소-도핑 된 SIC 층에 의해 더욱 차별화되어 특히 전기 성능으로 제어되고 가열이 필요한 응용 분야에 특히 적합합니다.

히터는 고강도 흑연 기판으로 구성되며, 이는 핵심 구조 및 열 전도체 역할을한다. 흑연은 특히 높은 수준의 열전도율, 낮은 열 팽창 계수 및 열 충격에 대한 탄력성을 제공하는 것으로 선택되었습니다. 이러한 특성으로 인해 흑연은 빠른 가열 및 냉각주기가있을 수있는 고온 공정 응용 분야에서 적합한 기본 물질로 만듭니다. 그러나, 깨끗한 흑연 자체는 특정 대기에서 화학적으로 반응성이 있으며, 특히 반도체 클리닝 룸 환경에서 표면 손상 또는 분해, 입자 방출 또는 이월을 경험할 수 있습니다.

이러한 한계를 극복하기 위해, 흑연 부분은 두껍고 고순도가 높은 층으로 코팅된다. SIC 코팅은 여러 기능을 제공합니다. 산화 및 화학적 부식에 대한 보호 수준을 제공하며 매우 단단하고 내마모성 표면을 제공하며 진공 및 청정실 표준과의 호환성을 보장합니다. SIC는 극도의 경도, 높은 열전도율 및 화학적 불활성으로 명성을 얻습니다. 이러한 이유로 고성능 열 성분을위한 우수한 코팅 재료입니다.

이 제품의 독특한 혁신은 SIC 코팅의 질소 도핑입니다. 화학 증기 증착 (CVD) 공정 동안, 질소 원자는 SIC 격자에 내장되어 자유 캐리어를 생성하여 표면 저항성을 극적으로 감소시킬 수 있으며, 따라서 전도성 표면 층을 생성하고 SIC 코팅을 통해 전류가 접근 지점을 사용하기보다는 직접 통과 할 수있게하여 전체 흑연 성분이 저항성 가열 요소로 작용할 수있게한다.

권위 있는sic 코팅진동 전기 응용 분야의 범위에서 제한하는 단열성입니다. 반대로, 히터의 질소 도핑 된 SIC 층은 표면 저항이 매우 낮으며 여전히 클래식 SIC의 모든 기계적 및 화학적 이점을 유지합니다. 전도성 층은 매우 우수한 전류 균일 성을 제공하고 전력 손실을 최소화하면서 히터 표면의 열 분포를 개선합니다. 특히 에피 택셜 반응기, 확산 용광로 및 빠른 열 처리 (RTP) 장비와 관련된 조건 하에서 정밀 가열 응용에 특히 이상적입니다.

이미지에 도시 된 바와 같이 일반적으로 나선형 또는 뱀인의 히터 형상은 균일 한 열 출력 에너지 및 균일 한 전기 하중을 생성하려는 의도로 설계되고 최적화된다. 흑연 및 전도성 SIC 코팅의 통합 설계를 통해, 전기 접촉은 코팅 된 표면에 직접 제조하여 추가 전극 또는 금속 연결의 필요성을 제거 할 수있다. 이로 인해 오염 위험이 줄어들고 더 간단한 조립품이 발생합니다. 결과적으로 전체 효율이 향상됩니다.

전도성의 주요 이점Sic 코팅 된 흑연 히터포함하다:

질소 도핑으로 인한 우수한 전기 전도도, 직류 흐름과 효율적인 저항 가열을 가능하게합니다.

전체 표면적에 대한 정확한 온도 제어를 갖는 우수한 열 균일 성.

높은 화학 저항, 특히 수소, 암모니아 또는 할로겐이 풍부한 대기와 같은 부식성 환경에서.

최소 입자 생성, 반도체 제조의 엄격한 순도 요구 사항을 충족시킵니다.

흑연 코어 및 SIC 코팅 둘 다의 기계적 내구성 및 열 충격 저항으로 인해 확장 된 서비스 수명.

이 히터의 응용 분야는 여러 고급 기술 산업에 걸쳐 확장됩니다. 히터는 반도체 제조 공정에서 화학 증기 증착 (CVD), 분자 빔 에피 택시 (MBE) 및 웨이퍼 어닐링과 같은 장소를 찾을 수 있습니다. SIC 코팅 된 흑연 히터는 태양 광 생산, 고급 세라믹의 소결 및 더 높은 성능, 내구성 및 강력한 히터가 필요한 다른 열 공정에서도 사용할 수 있습니다.

요약하면, 전도성 Sic 코팅 된 흑연 히터는 열 성분의 개발에 인상적인 발전입니다. 질소 도핑 된 SIC 코팅을 사용함으로써, 우리는 효과적인 열 생성물을 개발하여 SIC 코팅의 화학적 안정성을 전기 전도성과 성공적으로 결합했습니다. 따라서, 가장 까다로운 산업 응용 분야에서보다 효율적이고 깨끗하며 신뢰할 수있는 열 프로세스를 생성합니다. 반도체 및 재료 산업은 지속적인 변화에 직면하고 있으며 이러한 종류의 하이브리드 재료는 미래의 고급 기술을 가능하게하는 데 점점 더 중요해질 것입니다.

Semicorex는 고품질을 제공합니다코팅이있는 흑연 히터제품. 문의 사항이 있거나 추가 세부 정보가 필요한 경우 주저하지 마십시오.

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